[发明专利]涂覆的基材有效
申请号: | 201680034271.6 | 申请日: | 2016-04-29 |
公开(公告)号: | CN107743527B | 公开(公告)日: | 2020-12-15 |
发明(设计)人: | X·张;K·库克 | 申请(专利权)人: | 梯尔镀层有限公司 |
主分类号: | C23C14/06 | 分类号: | C23C14/06;C23C14/35 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 于辉;黄歆 |
地址: | 英国伍*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基材 | ||
1.一种施用于基材表面的涂层,其中所述涂层包含MSx和/或MSex,其中M为钼(Mo)或钨(W),并且x=0.8-2,
其中,
所述涂层包含第一种形式和第二种形式的重复的层,
所述第一种形式包含MSx和/或MSex和Ti;
所述第二种形式包含MSx和/或MSex、Ti和TiB2,并且在这种形式的层中,TiB2材料的层夹在MSx和/或MSex和Ti的层之间;并且
其中所述第一种形式的层和所述第二种形式的层作为不同的层施用以形成所述涂层;并且
其中在仅向TiB2靶材施加溅射电流的条件下形成TiB2层。
2.根据权利要求1所述的涂层,其中x=2。
3.根据权利要求1所述的涂层,其中所述涂层还包含碳。
4.根据权利要求1所述的涂层,其中所述涂层包含以下的至少一种:锆、镍、钴、铅、铬、金、银、碳、铌、钽、PTFE。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的涂层,其中所述涂层包含以下的至少一种:CaF2、BaF2、CeF3、LaF3;PbO、NiO、Cu2O、ZrO2、Ag2O、Al2O3、Sb2O3;ZrB2、CrB2、碳化硼、氮化硼、氮化硅、氮化钛、碳化钛、碳化硅和/或碳化钨。
6.根据权利要求1所述的涂层,其中在至多4.0μm的涂层厚度下,所述涂层的磨损率为至少1×10-17m3N-1m-1。
7.根据权利要求1-4中任一项所述的涂层,其中所述涂层的工作温度为450℃。
8.根据权利要求1所述的涂层,其中所述涂层是纳米晶体,并且所述纳米晶体的基面与施用所述涂层的基材表面平行。
9.一种制品,其具有施用至其表面的权利要求1-8中任一项所述的涂层。
10.根据权利要求9所述的制品,其中所述涂层用于形成用于所述制品的固体润滑剂表面涂层,所述制品用于以下的任一种或其任意组合:模制;成型;干钻和切割;板材冲压;重载滑动轴承、齿轮、活塞环、气缸套、阀杆和/或辊。
11.一种在基材表面上形成涂层的方法,所述方法包括以下步骤:
将Ti层施用至所述基材的表面上,
施加材料的斜坡层,在此期间,开始将除了Ti之外的材料施用至所述Ti层,并且
其中所述方法包括施用第一种形式和第二种形式的重复的层的步骤,
所述第一种形式包含MSx和/或MSex和Ti,其中M为钼或钨,并且
所述第二种形式包含MSx和/或MSex、Ti和TiB2,并且在这种形式的层中,TiB2材料的层夹在MSx和/或MSex和Ti的层之间;并且
其中所述第一种形式的层和所述第二种形式的层作为不同的层施用以形成所述涂层;并且
其中在仅向TiB2靶材施加溅射电流的条件下形成TiB2层。
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