[发明专利]用于确定和补偿几何成像偏差的方法

权利要求书

1.一种用于确定和补偿几何成像偏差的方法，所述几何成像偏差在通过用显微成像系统的顺次多光斑扫描进行的物体成像过程中产生，所述方法包括如下方法步骤：

确定参照物，所述参照物具有限定的平面结构，

产生所述平面结构的没有几何成像偏差的电子图像数据记录，其中将源起的物体位置一对一地对应于图像点的每个位置，

将所述图像数据记录存储并提供作为参考图像数据记录，

用成像系统针对每一个光斑产生至少一个电子实际图像数据记录，其中再将源起的物体位置对应于图像点的每个位置，

将实际图像数据记录与参考图像数据记录就对应于相同物体位置的图像点的位置进行比较，

确定实际图像数据记录中的图像点相对于参考图像数据记录中相应的图像点的位置偏离，

将确定的位置偏离作为校正数据存储，

通过根据校正数据校正各实际图像数据记录中的位置偏离，针对每一个单独的光斑补偿几何成像偏差。

2.根据权利要求1所述的方法，其中彼此独立地获取

基于多光斑扫描过程中的非线性导致的几何成像偏差，以及

基于光学设计的偏离的参数导致的几何成像偏差，

并以所获取的上述几何成像偏差为基础，在多光斑扫描过程中或者在此后的时间进行成像偏差的补偿。

3.根据权利要求2所述的方法，其中获取基于扫描装置的速度、方向和/或幅度的非线性导致的几何成像偏差并作为补偿的基础。

4.根据权利要求3所述的方法，其中

在各自不同的扫描速度、扫描方向和/或扫描幅度的情况下借助于多个实际图像数据记录进行基于扫描装置的速度、方向和/或幅度的非线性导致的几何成像偏差的获取，并且

由实际图像数据记录中图像点相对于参考图像数据记录中相应图像点的统计平均位置偏离或者插值位置偏离产生补偿数据。

5.根据权利要求3或4所述的方法，其中还获取实际由扫描装置产生的实际偏转角，与额定偏转角比较并由此确定校正值，并将所述校正值用于用校正过的对扫描装置的控制使偏离最小化。

6.根据权利要求3或4所述的方法，其中位置偏离的补偿在物体的多光斑扫描过程中实施。

7.根据权利要求2所述的方法，其中获取基于光学设计的偏离的参数导致的几何成像偏差，这通过如下方式实现：

用某一波长的照射光采集一个实际图像数据记录，并由所述实际图像数据记录中的图像点相对于参考图像数据记录中的相应图像点的位置偏离产生补偿数据，或者

用不同波长的照射光采集多个实际图像数据记录，并由实际图像数据记录中的图像点相对于参考图像数据记录中相应图像点的统计平均位置偏离或者插值位置偏离产生补偿数据。

8.根据权利要求7所述的方法，其中位置偏离的补偿在时间上在物体的多光斑扫描之后进行。

9.根据权利要求1-4中任一项所述的方法，其中实际图像数据记录以各自尽可能大的图像区尺寸和尽可能小的扫描速度产生。

10.根据权利要求1-4中任一项所述的方法，其中使用具有平面光栅结构的物体作为参照物。

11.根据权利要求1-4中任一项所述的方法，其中将校正数据固定地对应于所述成像系统，并且用其校正的图像由任何其它物体产生。

12.根据权利要求1-4中任一项所述的方法，其中

用多个光斑在时间上先后照射物体的每个待成像位置，并且其中

进行在前的光斑的检测到的信号强度向一个或多个随后的射向物体相同位置的光斑的照射强度的反馈，使得基于受控的照射强度

既实现物体的各个位置的成像过程中提高的动态性，

又实现物体的光束负荷的优化。