[发明专利]用于沉积有机材料的蒸发源、设备和方法

说明书

描述一种用于在基板(10)上沉积源材料的蒸发源(100)。所述蒸发源包括：蒸发坩埚(104)，其中所述蒸发坩埚被配置为蒸发源材料；分配单元(130)，所述分配单元具有一个或多个出口(212)，其中分配单元与蒸发坩埚流体连通，并且其中一个或多个出口被配置为用于在沉积方向(101)上将源材料提供到基板；第一冷却屏蔽布置(201)，所述第一冷却屏蔽布置设为包括一个或多个开口(221)；受热屏蔽布置(202)，所述受热屏蔽布置设于距第一冷却屏蔽布置(201)的某个距离，其中受热屏蔽布置(202)包括一个或多个孔隙(222)。第一冷却屏蔽布置(201)布置在分配单元(130)与受热屏蔽布置(202)之间，并且蒸发源(100)被配置为限定源材料在沉积方向(101)上从一个或多个出口(212)穿过一个或多个开口(221)和一个或多个孔隙(222)到基板的路径。

技术领域

本公开内容的实施方式涉及对有机材料的沉积、用于沉积材料(例如有机材料)的系统、用于有机材料的源、以及用于有机材料的沉积设备。本公开内容的实施方式尤其涉及用于有机材料(例如，用于蒸发设备)的蒸发源和/或用于制造装置(特别是包括有机材料在其中的器件)的制造系统。

背景技术

有机蒸发器是用于生产有机发光二极管(OLED)的工具。OLED是其中发射层包括某些有机化合物的薄膜的特殊类型的发光二极管。有机发光二极管(OLED)用来制造用于显示信息的电视机屏、计算机监视器、移动电话和其它手持装置。OLED还可用于一般空间照明。OLED显示器的可能色彩、亮度和视角的范围大于传统LCD显示器，因为OLED像素直接发光而不需要背光。因此，OLED显示器能耗显著小于传统LCD显示器能耗。另外，OLED可制造于柔性基板上的事实产生另外应用。典型OLED显示器例如可以包括安置在两个电极之间的有机材料层，它们全都以形成具有可单独激励的像素的矩阵显示面板的方式沉积在基板上。OLED大体放在两个玻璃面板之间，并且密封玻璃面板的边缘以将OLED封装在其中。

在制造此类显示装置时遇到许多挑战。OLED显示器或OLED发光应用包括例如在真空中蒸发的若干有机材料的堆叠。有机材料随后以通过阴影掩模的方式沉积。为了高效率地制造OLED堆叠，两种或更多种材料(例如，主体和掺杂剂)共沉积或共蒸发以产生混合/掺杂的层是有益的。另外，必须要考虑到蒸发非常敏感的有机材料的若干工艺条件。

为了在基板上沉积材料，加热材料直到材料蒸发。管道通过喷嘴将已蒸发的材料导向到基板。在过去几年中，已提高了沉积工艺精度，例如，以便能够使像素的大小越来越小。在一些工艺中，掩模用于在已蒸发的材料经过掩模开口时限定像素。然而，掩模的遮蔽效应、已蒸发的材料的扩散等等使得难以进一步地提高蒸发工艺的精度和可预测性。

鉴于上文，提高用于制造具有高质量和精度的装置的蒸发工艺的精度和可预测性是有益的。

发明内容

鉴于上文，提供一种根据独立权利要求的将已蒸发的材料沉积到基板上的蒸发源、沉积设备和方法。另外优点、特征、方面和细节通过从属权利要求、说明书和附图显而易见。

根据本公开内容的一个方面，提供一种用于在基板上沉积材料的蒸发源。所述蒸发源包括：蒸发坩埚，其中所述蒸发坩埚被配置为蒸发材料；分配单元，所述分配单元具有一个或多个出口，其中分配单元与蒸发坩埚流体连通，并且其中一个或多个出口被配置为用于在沉积方向上将材料提供到基板；第一冷却屏蔽布置，所述第一冷却屏蔽布置设为包括一个或多个开口；受热屏蔽布置，所述受热屏蔽布置设于距第一冷却屏蔽布置的某个距离，其中受热屏蔽布置包括一个或多个孔隙，其中第一冷却屏蔽布置布置在分配单元与受热屏蔽布置之间，其中蒸发源被配置为限定材料在沉积方向上从一个或多个出口穿过一个或多个开口和一个或多个孔隙到基板的路径。

根据本公开内容的另一方面，提供一种沉积设备，所述沉积设备包括根据本文中描述的实施方式的一个或多个蒸发源。