[发明专利]成膜方法以及成膜装置

权利要求书

1.一种成膜方法，其通过将材料的粉末以保持固相的状态喷涂到基材的表面上并使其堆积来形成被膜，其特征在于，包括：

混合距离调节工序，其根据所述材料的粉末的种类，来调节通路的直径最小的位置与混合位置之间的距离，所述通路形成于喷管的内部，并从基端部朝向前端部缩径后再扩径，所述混合位置是将导入到所述喷管中的所述材料的粉末与气体混合的位置；

喷射工序，其将所述材料的粉末和所述气体在所述混合位置混合并导入到所述喷管中，使其朝向所述直径最小的位置加速，并将所述材料的粉末和所述气体从所述喷管的所述前端部喷射出；以及

喷涂工序，其将从所述前端部喷射出的所述材料的粉末和所述气体喷涂到所述基材上，

所述混合位置是能够在所述直径最小的位置与混合室的基端部之间的范围内进行调节的，其中，所述混合室在所述喷管的基端部与所述喷管连通，所述混合室的基端部是与所述喷管的基端部连接的端部的相反侧的端部。

2.根据权利要求1所述的成膜方法，其特征在于：

在所述混合距离调节工序中，所述材料的粉末的熔点越低，就使所述距离越短。

3.一种成膜装置，其通过将材料的粉末以保持固相的状态喷涂到基材的表面上并使其堆积来形成被膜，其特征在于：

所述成膜装置具备：

混合室，其用于将所述材料的粉末与气体混合；

喷管，其在基端部与所述混合室连通，在其内部设置有从该基端部朝向前端部缩径后再扩径的通路，并且用于将在所述混合室混合后的所述材料的粉末和所述气体从所述前端部喷射出；

粉末供给管，其用于将所述材料的粉末供给到所述混合室；以及

气体供给管，其用于将所述气体供给到所述混合室，

所述成膜装置能够对所述通路的直径最小的位置、与将所述材料的粉末和所述气体相互混合的混合位置之间的距离进行调节，

所述混合位置是能够在所述直径最小的位置与所述混合室的基端部之间的范围内进行调节的，其中，所述混合室的基端部是与所述喷管的基端部连接的端部的相反侧的端部。

4.根据权利要求3所述的成膜装置，其特征在于：

所述粉末供给管设置成，使喷出所述材料的粉末的前端从所述混合室的后端侧朝向所述喷管侧伸出，

所述粉末供给管的所述前端的伸出量能够变更。

5.根据权利要求3所述的成膜装置，其特征在于：

所述粉末供给管设置成，使喷出所述材料的粉末的前端从所述混合室的后端侧朝向所述喷管侧伸出，

所述成膜装置具备能够构成所述混合室的、高度不同的多个筒状部件，

通过将所述多个筒状部件的其中一个与所述喷管的所述基端部连结，来构成所述混合室。

6.根据权利要求3所述的成膜装置，其特征在于：

所述混合室由筒状部件构成，所述筒状部件与所述喷管的所述基端部连结、且沿侧面的长度方向设置有多个粉末供给口，

通过将所述粉末供给管与所述多个粉末供给口的其中一个连接，来改变所述距离。