[发明专利]图案描绘装置及图案描绘方法

权利要求书

1.一种图案描绘装置，对可挠性的长条的片材基板即被照射体沿着长边方向进行副扫描、且使基于描绘数据而强度调变的光点沿着于与上述被照射体的长边方向正交的宽度方向延伸的扫描线进行主扫描，藉此在上述被照射体上描绘与上述描绘数据相对应的图案，其具备：

旋转多面镜，为了上述主扫描而绕旋转轴旋转；

第1导光光学系统，从第1方向朝上述旋转多面镜投射第1光束；

第2导光光学系统，从与上述第1方向不同的第2方向朝上述旋转多面镜投射第2光束；

第1投射光学系统，使由上述旋转多面镜反射的上述第1光束聚光并作为第1光点而投射至第1扫描线上；以及

第2投射光学系统，使由上述旋转多面镜反射的上述第2光束聚光并作为第2光点而投射至第2扫描线上；

以将上述第1扫描线与上述第2扫描线的各扫描长度设为相同，并且于上述主扫描方向以上述扫描长度以下的间隔分离设定上述第1扫描线与上述第2扫描线的方式，配置上述第1投射光学系统与上述第2投射光学系统。

2.如权利要求1所述的图案描绘装置，其中，

以使上述第1扫描线与上述第2扫描线于上述被照射体上位于上述副扫描方向上的相同位置的方式，配置上述第1投射光学系统与上述第2投射光学系统。

3.如权利要求1或2所述的图案描绘装置，其中，

上述旋转多面镜，具有以围绕上述旋转轴的方式配置的多个反射面；

上述第1导光光学系统，以使投射至上述旋转多面镜的多个反射面中的第1反射面的上述第1光束的入射方向，在上述旋转轴延伸的方向上与由上述第1反射面反射的上述第1光束的反射方向不同的方式设置；

上述第2导光光学系统，以使投射至上述旋转多面镜的多个反射面中的与上述第1反射面不同的第2反射面的上述第2光束的入射方向，在上述旋转轴延伸的方向上与由上述第2反射面反射的上述第2光束的反射方向不同的方式设置。

4.如权利要求1或2所述的图案描绘装置，其中，

上述旋转多面镜、上述第1导光光学系统、上述第2导光光学系统、上述第1投射光学系统及上述第2投射光学系统，一体地形成为可旋动的一个描绘单元；

上述描绘单元的旋动中心轴，以相对于上述被照射体垂直地通过线段上的点的方式设定，上述线段连接上述第1扫描线的中点与上述第2扫描线的中点。

5.如权利要求4所述的图案描绘装置，其中，

上述第1光束及上述第2光束，以相对于上述旋动中心轴成为对称的方式射入至上述描绘单元。

6.如权利要求5所述的图案描绘装置，其中，

上述描绘单元具备反射构件，该反射构件对所射入的上述第1光束与上述第2光束进行反射并导引至上述第1导光光学系统与上述第2导光光学系统。

7.如权利要求5所述的图案描绘装置，其中，

上述第1导光光学系统具备第1偏移光学构件，该第1偏移光学构件使上述反射构件所反射的上述第1光束的位置在与上述第1光束的前进方向交叉的面内偏移；

上述第2导光光学系统具备第2偏移光学构件，该第2偏移光学构件使上述反射构件所反射的上述第2光束的位置在与上述第2光束的前进方向交叉的面内偏移。

8.如权利要求4所述的图案描绘装置，其中，

设置有多个上述描绘单元；

多个上述描绘单元的各个，以使各自的上述第1扫描线及上述第2扫描线沿着上述被照射体的宽度方向相接的方式来配置。