[发明专利]压力传递模块及具有压力传递模块的压力传感器

权利要求书

1.压力传递模块(1)，所述压力传递模块(1)用于传递压力(p)，所述压力传递模块(1)包括：

-隔离膜片(7)，所述隔离膜片(7)向外地密封第一压力室(5)，并且能在外部与待传输的压力(p)接触，

-传递膜片(15)，所述传递膜片(15)向外地密封第二压力室(13)，以及

-压力传递路径(17)，所述压力传递路径(17)将所述第一压力室(5)与所述第二压力室(13)连接，其中

-所述第一压力室(5)和所述第二压力室(13)及所述压力传递路径(17)填充有压力传递液体，在外部作用于所述隔离膜片(7)的压力(p)经由所述压力传递液体被传输到所述传递膜片(15)，

其特征在于，

-所述压力传递液体处于预压力(p_v)下，在所述预压力(p_v)下，所述隔离膜片(7)和所述传递膜片(15)由于所述预压力(p_v)而被永久性地预加应力，

-所述隔离膜片(7)和所述传递膜片(15)在所述预压力(p_v)下采取开始位置，所述隔离膜片(7)和所述传递膜片(15)被所述待传输的压力(p)从所述开始位置偏转，并且

-所述隔离膜片(7)的开始位置和所述传递膜片(15)的开始位置根据所述预压力(p_v)的大小和所述待传输的压力(p)的大小位于所述隔离膜片和传递膜片的偏转范围内，在该偏转范围中，由于所述隔离膜片(7)和所述传递膜片(15)的构型，从所述隔离膜片(7)和所述传递膜片(15)的开始位置的偏转具有非轴对称部分。

2.根据权利要求1所述的压力传递模块(1)，其中，所述压力传递模块(1)用于传递小于或等于100mbar的压力(p)。

3.根据权利要求2所述的压力传递模块(1)，其中，所述预压力(p_v)大于或等于30mbar。

4.根据权利要求3所述的压力传递模块(1)，其中，所述预压力(p_v)大于或等于50mbar。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的压力传递模块(1)，其中，所述非轴对称部分是反对称部分。

6.根据权利要求1至4中的任一项所述的压力传递模块(1)，其特征在于，所述隔离膜片(7)和所述传递膜片(15)由金属材料制成，并且所述隔离膜片(7)和所述传递膜片(15)具有30μm至200μm的大小的材料厚度(h)。

7.根据权利要求6所述的压力传递模块(1)，其中，所述金属材料是不锈钢、钽或蒙乃尔合金。

8.根据权利要求1至4中的任一项所述的压力传递模块(1)，其特征在于，

-所述预压力(p_v)大于或等于30mbar，

-所述隔离膜片(7)和所述传递膜片(15)具有可偏转区域，所述可偏转区域的直径(d)小于或等于90mm，其中所述直径(d)越小，则所述预压力(p_v)越大。

9.根据权利要求8所述的压力传递模块(1)，其中，所述预压力(p_v)在30mbar至200mbar的范围内，所述直径(d)在90mm至15mm的大小的范围内。

10.根据权利要求1至4中的任一项所述的压力传递模块(1)，其特征在于，

-所述预压力(p_v)大于或等于50mbar，并且

-所述隔离膜片(7)和所述传递膜片(15)具有可偏转区域，所述可偏转区域的直径(d)小于或等于50mm。