[发明专利]线锯装置以及工件的切割方法

权利要求书

1.一种线锯装置，其具备：

至少1根线，至少1根所述线以能够在横切作为切割对象的工件的方向上行进的方式张设；

工件保持部，其保持所述工件，并且使所述工件相对于所述线进行相对移动；

浆料供给部，其从所述线的行进方向的上游侧向所述线供给用于切割所述工件的浆料；以及

浆料捕集部，其捕集通过与所述工件的接触而飞溅的所述浆料，其特征在于，

所述浆料捕集部以在与所述工件相邻配置的状态下能够跟随所述工件移动并且为了防止与所述线接触而能够相对于所述工件后退的方式构成。

2.根据权利要求1所述的线锯装置，其中，

所述浆料捕集部的最内侧最下端与所述工件的表面之间的最小间隙为10mm以上且50mm以下。

3.根据权利要求1或2所述的线锯装置，其中，

所述浆料捕集部与所述线之间的铅垂方向的距离的最小值为5mm以上且60mm以下。

4.根据权利要求1或2所述的线锯装置，其中，

所述浆料捕集部以能够在铅垂方向上滑动的方式安装于所述工件保持部。

5.根据权利要求1或2所述的线锯装置，其中，

所述浆料捕集部具有容纳飞溅出的所述浆料的接收盘和支承该接收盘的支承部件，该支承部件以能够在铅垂方向上滑动的方式安装于所述工件保持部。

6.根据权利要求5所述的线锯装置，其中，

所述浆料捕集部的最内侧最下端部在铅垂方向上配置于所述工件的铅垂方向的上端与所述工件的中心之间，在水平方向上配置于所述工件的水平方向的端部与所述工件的中心之间。

7.根据权利要求5所述的线锯装置，其中，

所述接收盘朝向所述工件的径向内侧向水平方向或朝上倾斜。

8.根据权利要求7所述的线锯装置，其中，

所述接收盘相对于水平方向的倾斜角度为0度以上且70度以下。

9.根据权利要求1或2所述的线锯装置，其还具备可动控制部，所述可动控制部配设于所述浆料捕集部与所述线之间，防止所述浆料捕集部与所述线接触。

10.根据权利要求9所述的线锯装置，其中，

所述可动控制部安装于所述浆料供给部。

11.一种工件的切割方法，其一边使至少1根线在横切作为切割对象的工件的方向上行进，一边向该线供给浆料，使保持所述工件的工件保持部相对于所述线进行相对移动，将所述工件压抵于所述线而切入进给，从而将所述工件切割成晶圆，其特征在于，

一边使捕集通过与所述工件的接触而飞溅的所述浆料的浆料捕集部在与所述工件相邻配置的状态下跟随所述工件移动，一边进行所述工件相对于所述线的相对移动，在所述浆料捕集部与所述线之间的铅垂方向的距离成为规定值的情况下，使所述浆料捕集部相对于所述工件后退。

12.根据权利要求11所述的工件的切割方法，其中，

一边使所述浆料捕集部的最内侧最下端与所述工件的表面之间的最小间隙成为10mm以上且50mm以下，一边进行所述工件相对于所述线的相对移动。

13.根据权利要求11或12所述的工件的切割方法，其中，

所述规定值为5mm以上且60mm以下。

14.根据权利要求11或12所述的工件的切割方法，其中，

将所述浆料捕集部以具有容纳飞溅出的所述浆料的接收盘和支承该接收盘的支承部件的方式构成，

一边使所述浆料捕集部的最内侧最下端部在铅垂方向上配置于所述工件的铅垂方向的上端与所述工件的中心之间，在水平方向上配置于所述工件的水平方向的端部与所述工件的中心之间，一边进行所述工件相对于所述线的相对移动。