[发明专利]化学蒸镀装置及化学蒸镀方法

权利要求书

1.一种化学蒸镀装置，具有容纳被成膜物的反应容器、设置于所述反应容器内的气体供给管及在所述反应容器内使气体供给管绕旋转轴旋转的旋转驱动装置，

所述气体供给管的内部被划分为沿所述旋转轴延伸的第1气体流通部和第2气体流通部，

在所述气体供给管的管壁设置有由沿圆周方向相邻配置的至少三个以上的气体喷出口组成的气体喷出口组，

所述气体喷出口组包含至少一个以上的第1气体喷出口和至少一个以上的第2气体喷出口，所述第1气体喷出口使流通到所述第1气体流通部的第1气体喷出到所述反应容器内，所述第2气体喷出口使流通到所述第2气体流通部的第2气体喷出到所述反应容器内。

2.根据权利要求1所述的化学蒸镀装置，其中，

在所述气体喷出口组中，设置在相同的所述气体流通部的两个所述气体喷出口绕所述旋转轴的相对角度为60°以上。

3.根据权利要求1或2所述的化学蒸镀装置，其中，

在所述气体供给管的轴向上设有多个所述气体喷出口组。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的化学蒸镀装置，其中，

具备托盘，所述托盘具有载置所述被成膜物的载置面，所述托盘的载置面朝向所述气体供给管的轴向而配置。

5.根据权利要求4所述的化学蒸镀装置，其中，

沿所述气体供给管的轴向层叠配置有多个所述托盘。

6.根据权利要求4或5所述的化学蒸镀装置，其中，

所述托盘具有贯穿孔，且所述气体供给管插通所述贯穿孔。

7.一种化学蒸镀方法，使用权利要求1至6中任一项所述的化学蒸镀装置在被成膜物的表面形成被膜。

8.根据权利要求7所述的化学蒸镀方法，其中，

使所述气体供给管以10转/分钟以上且60转/分钟以下的转速旋转。

9.根据权利要求7或8所述的化学蒸镀方法，其中，

使用不含金属元素的原料气体作为所述第1气体，使用含有金属元素的原料气体作为所述第2气体。

10.根据权利要求9所述的化学蒸镀方法，其中，

使用含氨气体作为所述第1气体。