[发明专利]前驱体组合物、感光性树脂组合物、前驱体组合物的制造方法、固化膜、固化膜的制造方法及半导体器件

权利要求书

1.一种感光性树脂组合物，其包含前驱体组合物与光自由基聚合引发剂，所述前驱体组合物包含含有杂环的聚合物前驱体的至少一种，其中，

所述含有杂环的聚合物前驱体选自聚酰亚胺前驱体及聚苯并噁唑前驱体，

所述含有杂环的聚合物前驱体的重均分子量/数均分子量即分散度为2.5～3.1,

所述含有杂环的聚合物前驱体具有聚合性不饱和基团。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，

所述分散度为2.8以上。

3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其包含两种以上的重均分子量及结构中的重复单元中的至少一种彼此不同的含有杂环的聚合物前驱体作为所述含有杂环的聚合物前驱体。

4.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，

所述含有杂环的聚合物前驱体的至少一种为具有由通式(1-1)所表示的重复单元的前驱体，

通式(1-1)中，A¹及A²分别独立地表示氧原子或NH，R¹¹¹表示2价的有机基团，R¹¹²表示单键或2价的基团，R¹¹³及R¹¹⁴分别独立地表示氢原子或1价的有机基团。

5.根据权利要求4所述的感光性树脂组合物，其中，

所述A¹及A²中的至少一个为氧原子。

6.根据权利要求4所述的感光性树脂组合物，其中，

所述R¹¹²为单键，或选自可以被氟原子取代的碳原子数为1～10的烃基、-O-、-C(＝O)-、-S-、-SO₂-及-NHCO-以及它们的组合中的基团。

7.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其还包含固化性化合物。

8.根据权利要求7所述的感光性树脂组合物，其中，

所述固化性化合物包含具有烯属不饱和键的化合物。

9.根据权利要求7所述的感光性树脂组合物，其中，

所述固化性化合物为包含2个以上的烯属不饱和基团的化合物。

10.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其用于形成再配线层用层间绝缘膜。

11.一种感光性树脂组合物的制造方法，其为权利要求1至10中任一项所述的感光性树脂组合物的制造方法，

所述感光性树脂组合物的制造方法包括使用两种以上的重均分子量彼此不同的含有杂环的聚合物前驱体，

所述含有杂环的聚合物前驱体选自聚酰亚胺前驱体及聚苯并噁唑前驱体。

12.一种固化膜，其使权利要求1至10中任一项所述的感光性树脂组合物固化而成。

13.根据权利要求12所述的固化膜，其为再配线层用层间绝缘膜。

14.一种固化膜的制造方法，其包括使用权利要求1至10中任一项所述的感光性树脂组合物。

15.根据权利要求14所述的固化膜的制造方法，其具有：

将感光性树脂组合物应用于基板上的工序；及

将应用于基板上的感光性树脂组合物固化的工序。

16.一种半导体器件，其具有权利要求12或13所述的固化膜。