[发明专利]非接触式供电系统

说明书

技术领域

本发明涉及非接触式供电系统，更详细地说，涉及用于将供电对象电极设为设置于输送机器人的机器人手的静电吸盘的吸附用电极，以非接触方式对该吸附用电极供电的系统。

背景技术

这种非接触式供电系统例如通过专利文献1所公知。该专利文献1的系统以通过所谓蛙腿式输送机器人对其机器人手上所设置的吸附用电极以非接触方式供电的情况为例子进行说明的话，具有：在对置配置的一对电极间机械式分离的电容器；连接于其中一个电极的供电电路单元；在另一电极与吸附用电极之间连接的受电电路单元。在这种情况下，电容器的一个电极由与旋转轴同心设置的筒状构件构成，另一电极外套在旋转轴上以相对于一个电极将电极间距离维持为一定的同时进行相对移动。

作为供电电路单元，具有以包括电容器的谐振电路的谐振频率振荡的自激振荡器、调制器和控制这些部件工作的第一控制机构，并供给被调制成预定振幅的载波。作为受电电路单元，具有与吸附用电极并列设置的电阻、对电阻两端的载波进行整流的整流电路、对吸附用电极间施加逆电压的极性切换电路和控制这些部件工作的第二控制机构，对一对吸附用电极施加直流电压而进行向机器人手的硅晶片等基板的静电吸附或解除。在此，在上述现有例中，虽然例示出在第一以及第二两控制机构间例如进行无线通信从而进行向机器人手的工件的静电吸附或解除，但将通信设备另行设置的话，不仅装置构成变得复杂，而且存在受电电路单元的消耗电力也增多，导致成本高这样的不良情况。

现有技术文献

专利文献

【专利文献1】专利公开2013-235991号公报

发明内容

本发明鉴于以上情况，其课题在于提供一种构成为不需要使用另外的通信设备，也能在进行非接触供电时进行通信的低成本的非接触式供电系统。

为了解决上述课题，本发明的非接触式供电系统，其特征在于，具有：在对置配置的一对电极间机械式分离的电容器；与电容器的一个电极连接的供电电路单元；以及与电容器的另一电极连接的受电电路单元，对供电对象电极施加直流电压，供电电路单元具有：与电容器一起构成串联谐振电路的振荡器；施加振幅调制的调制器；以及控制供电电路单元工作的第一控制机构，供电电路单元能够将调制成相互不同振幅的载波向电容器的一个电极供给，受电电路单元具有：对通过电容器供给的载波进行整流的整流电路；将由整流电路整流的直流电压选择性地施加到供电对象电极的切换电路；以及控制受电电路单元工作的第二控制机构，将调制成第一振幅的载波设为电力供给用载波，将调制成第二振幅的载波设为控制信号用载波，第二控制机构构成为基于在从供电电路单元通过电容器向受电电路单元供给电力供给用载波期间供给的控制信号用载波来控制切换电路工作。

根据本发明，由于采用了以重叠于从供电电路单元经由电容器向受电电路单元供给的电力供给用载波的形式，供给被调制成不同的振幅的控制信号用载波从而在第一控制机构与第二控制机构之间进行通信的构成，因此不用另外的通信设备，就能够在进行非接触供电时进行控制信号的通信，并且，由于可省略通信设备，所以不会导致非接触式供电系统所装配的装置的复杂化，在此基础上，能够实现消耗电力节约化以及低成本化。此外，在本发明中，“将直流电压选择性地施加到供电对象电极”这种情况包括例如对供电对象电极施加直流电压的情况、施加逆电位的直流电压的情况或停止直流电压的施加的情况。

在本发明中，上述第二控制机构构成为通过供给控制信号用载波的次数来掌握控制内容即可。另一方面，如果构成为上述供电电路单元还具有监控在将调制成上述第一振幅的上述载波输出时的电流的电流计，上述受电电路单元还具有将调制成上述第一振幅的上述载波与负载连接的负载连接电路，第一控制机构构成为根据伴随着在由第二控制机构控制负载连接电路时的负载变动的电流值的变化，接收反馈控制信号的话，则能够实现在第一以及第二两控制机构之间的相互通信。此外，本发明中，上述供电对象电极能够适用于设置于输送机器人的机器人手的静电吸盘的吸附用电极。

附图说明

图1是示出装配了本发明的实施方式的非接触式供电系统的输送机器人的构成的立体图。

图2是说明非接触式供电系统构成的图。

图3是示出在第一以及第二两控制机构之间进行相互通信时的来自供电电路单元的第一载波或第二载波和输出波形、以及使用电流计测定的电流值变化的曲线图。

具体实施方式