[发明专利]印刷超窄间隙线的方法在审
申请号: | 201680039588.9 | 申请日: | 2016-06-30 |
公开(公告)号: | CN107852821A | 公开(公告)日: | 2018-03-27 |
发明(设计)人: | 朱达雅;克里斯多弗·派;陶业;张志一;艾夫辛·泰德法德 | 申请(专利权)人: | 加拿大国家研究委员会 |
主分类号: | H05K3/12 | 分类号: | H05K3/12;B82Y30/00;C09D11/52;H01L29/772;H05K1/16 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司11274 | 代理人: | 赵丹 |
地址: | 加拿大*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 印刷 间隙 方法 | ||
1.一种印刷功能材料的超窄间隙线的方法,所述方法包括:
提供具有中间层的基底,所述中间层覆盖在所述基底上;和
通过在所述基底的中间层上沉积墨水来印刷超窄间隙线,所述墨水包括功能材料和溶剂,所述溶剂使所述中间层溶胀以引起所述中间层在所述墨水的边缘隆起,从而形成约束墨水的路堤。
2.根据权利要求1所述的方法,其中,所述溶剂是乙醇。
3.根据权利要求1所述的方法,其中,所述溶剂是甲醇。
4.根据权利要求1所述的方法,其中,所述溶剂是丁醇。
5.根据权利要求1所述的方法,其中,所述溶剂包含乙二醇、乙醇、甘油和2-异丙氧基乙醇。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法,其中,所述中间层是由完全环氧化的双酚A/甲醛酚醛共聚物组成的SU-8。
7.根据权利要求1至5中任一项所述的方法,其中,所述中间层是聚乙烯吡咯烷酮(PVP)。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的方法,其中,多条所述超窄间隙线被同时印刷。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的方法,其中,所述功能材料是导电的墨水。
10.根据权利要求9所述的方法,其中,所述墨水是银纳米粒子墨水。
11.根据权利要求10所述的方法,其中,所述基底对于所述银纳米颗粒墨水是不可渗透的。
12.根据权利要求1至11中任一项所述的方法,其中,所述超窄间隙线被印刷以限定可印刷电子器件的薄膜晶体管的源极和漏极。
13.根据权利要求12所述的方法,其中,所述超窄间隙线之间的间隙是3~4μm。
14.根据权利要求12所述的方法,其中,在1mm的长度上,所述超窄间隙线之间的间隙是1.5~3μm。
15.根据权利要求12所述的方法,其中,所述超窄间隙线之间的间隙小于10μm。
16.根据权利要求12所述的方法,其中,在1mm的长度上,所述超窄间隙线之间的间隙小于3μm。
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