[发明专利]背板、溅射靶及它们的制造方法

权利要求书

1.背板的制造方法，所述制造方法包括将在单面具有使流体通过的槽的板状主体、与以覆盖所述主体的槽的方式被配置于所述主体上的板状的盖构件接合的步骤，并且，所述制造方法包括下述步骤：在将所述主体与所述盖构件接合而进行一体化后，使所述主体与所述盖构件的接合面成为上面，以在所述盖构件的表面测定的高度的最大值与最小值之差小于0.5mm的方式将所述主体固定，利用切削对所述接合面的至少一部分进行加工。

2.如权利要求1所述的制造方法，其中，以力学方式将所述主体固定。

3.如权利要求1或2所述的制造方法，其中，利用虎钳、夹钳或真空卡盘将所述主体固定。

4.如权利要求1所述的制造方法，其中，所述加工为铣刀加工。

5.如权利要求1所述的制造方法，其中，利用电子束焊接或摩擦搅拌接合而将所述主体与所述盖构件接合。

6.背板，其包含在单面具有使流体通过的槽的板状主体、和以覆盖所述主体的槽的方式被配置于所述主体上的板状的盖构件，其中，所述主体与所述盖构件通过接合而被一体化，通过所述接合而与所述主体一体化后的所述盖构件的厚度的最大值与最小值之差为0.4mm以下。

7.背板，其是通过权利要求1所述的制造方法而得到的。

8.如权利要求7所述的背板，其中，在制造后的背板中测得的所述盖构件的厚度的最大值与最小值之差为0.4mm以下。

9.溅射靶，其特征在于，在权利要求6所述的背板上连接有靶材。

10.溅射靶的制造方法，所述制造方法包括将靶材与背板连接的步骤，其特征在于，利用权利要求1～5中任一项所述的制造方法制造所述背板。