[发明专利]可移动支撑件和光刻设备

权利要求书

1.一种配置成支撑物体的可移动支撑件，包括：

用于支撑所述物体的支撑平面；

致动器组件，用于在第一方向和垂直于所述第一方向的第二方向上移动所述可移动支撑件，其中所述第一方向和所述第二方向在平行于所述支撑平面的平面中延伸，

其中所述致动器组件包括：

第一致动器，配置成在第一致动方向上施加第一致动力，所述第一致动方向平行于所述支撑平面；

第二致动器，配置成在第二致动方向上施加第二致动力，所述第二致动方向平行于所述支撑平面，

其中所述第一致动方向和第二致动方向布置成相对彼此不平行且不垂直，

其中所述第一致动方向和所述第一方向之间的角度为+α，并且所述第二致动方向和第一方向之间的角度为-α，其中α在0到45度之间。

2.根据权利要求1所述的可移动支撑件，其中所述第一方向是所述可移动支撑件的移动的主要方向。

3.根据权利要求2所述的可移动支撑件，其中介于所述第一致动方向和所述第一方向之间的角度、以及介于所述第二致动方向和所述第一方向之间的角度各自在0到10度之间。

4.根据权利要求3所述的可移动支撑件，其中所述致动器组件的致动器是磁阻式致动器，所述磁阻式致动器包括可磁化材料的磁芯和线圈。

5.根据权利要求4所述的可移动支撑件，其中所述第一致动器配置成在所述第一致动方向的正方向上施加所述第一致动力，所述第二致动器配置成在所述第二致动方向的正方向上施加所述第二致动力，

其中所述致动器组件包括：

第三致动器，配置成在所述第一致动方向的负方向上施加第三致动力，

第四致动器，配置成在所述第二致动方向的负方向上施加第四致动力。

6.根据权利要求5所述的可移动支撑件，其中所述第一致动器和所述第三致动器具有第一公共磁芯，和/或所述第二致动器和所述第四致动器具有第二公共磁芯。

7.根据权利要求5所述的可移动支撑件，其中所述第一致动器和所述第四致动器具有第一公共磁芯，所述第二致动器和所述第三致动器具有第二公共磁芯，其中所述第一公共磁芯和第二公共磁芯是楔形的。

8.根据权利要求7所述的可移动支撑件，其中所述第一公共磁芯具有与所述第一致动器的线圈面对的第一外表面和与所述第四致动器的线圈面对的第四外表面，所述第二公共磁芯具有与所述第二致动器的线圈面对的第二外表面和与所述第三致动器的线圈面对的第三外表面，其中所述第一外表面平行于第三外表面，所述第二外表面平行于第四外表面，其中介于所述第一外表面和所述第二外表面之间的角度在0到90度之间。

9.根据权利要求6所述的可移动支撑件，其中所述第一致动器、第二致动器、第三致动器和第四致动器具有公共磁芯。

10.根据权利要求9所述的可移动支撑件，其中所述公共磁芯具有六边形的横截面。

11.根据权利要求6所述的可移动支撑件，其中所述第一致动器、所述第二致动器、所述第三致动器和所述第四致动器的可移动部分布置在单个致动器单元中，所述致动器单元安装在可移动支撑件的主体上。

12.根据权利要求6所述的可移动支撑件，其中所述致动器组件包括：

第五致动器，配置成在所述第一致动方向的正方向上施加第五致动力，

第六致动器，配置成在所述第二致动方向的正方向上施加第六致动力，

第七致动器，配置成在所述第一致动方向的负方向上施加第七致动力，

第八致动器，配置成在所述第二致动方向的负方向上施加第八致动力。

13.根据权利要求1所述的可移动支撑件，其中所述可移动支撑件是图案形成装置支撑件或衬底支撑件。