[发明专利]压印用的模板制造装置及模板制造方法

权利要求书

1.一种压印用的模板制造装置，其特征在于，

具备：

工作台，对模板进行支承，该模板具备具有主面的基体和设在上述主面上的凸部，并且在该凸部的端面上形成有被向液态的被转印物推压的凹凸图案；

供给头，对上述工作台上的上述模板供给将上述液态的被转印物弹开的液态的疏液材料；

移动机构，使上述工作台及上述供给头在沿着上述工作台的方向上相对移动；

控制部，控制上述供给头及上述移动机构，以使上述供给头避开上述凹凸图案而向上述凸部的侧面涂敷上述液态的疏液材料；和

清洗部，对涂敷有上述液态的疏液材料的上述模板供给液体；

上述液态的疏液材料包含与上述模板的表面反应的疏液成分、与上述模板的表面反应的非疏液成分、和将上述疏液成分溶解的挥发性溶剂；

上述液体是将上述非疏液成分溶解的氟系的挥发性溶剂。

2.如权利要求1所述的压印用的模板制造装置，其特征在于，

上述控制部控制上述供给头及上述移动机构，以使上述供给头向上述凸部的周围的上述主面上供给上述液态的疏液材料，向上述凸部的侧面涂敷上述液态的疏液材料。

3.如权利要求1所述的压印用的模板制造装置，其特征在于，

将上述疏液成分溶解的挥发性溶剂是氟系溶剂；

上述氟系的挥发性溶剂是挥发性比将上述疏液成分溶解的挥发性溶剂高的溶剂。

4.如权利要求1所述的压印用的模板制造装置，其特征在于，

上述氟系的挥发性溶剂是氟系不活性液体。

5.如权利要求1所述的压印用的模板制造装置，其特征在于，

上述清洗部具备：

供给头，向涂敷有上述液态的疏液材料的上述模板供给上述液体；和

旋转机构，使涂敷了上述液态的疏液材料的上述模板在水平面内旋转；

上述控制部控制上述供给头及上述旋转机构，以使得上述供给头开始供给上述液体后、上述旋转机构使上述模板旋转。

6.一种压印用的模板制造方法，其特征在于，

具有：

对模板进行支承工序，该模板具备具有主面的基体和设在上述主面上的凸部，并且，在该凸部的端面上形成有被向液态的被转印物推压的凹凸图案；

避开被支承的上述模板的上述凹凸图案而向上述凸部的侧面涂敷将上述液态的被转印物弹开的液态的疏液材料的工序；

向涂敷了上述液态的疏液材料的上述模板供给液体的工序；

上述液态的疏液材料包含与上述模板的表面反应的疏液成分、与上述模板的表面反应的非疏液成分、和将上述疏液成分溶解的挥发性溶剂；

上述液体是将上述非疏液成分溶解的氟系的挥发性溶剂。

7.如权利要求6所述的压印用的模板制造方法，其特征在于，

在涂敷上述液态的疏液材料的工序中，向上述凸部的周围的上述主面上供给上述液态的疏液材料，向上述凸部的侧面涂敷上述液态的疏液材料。

8.如权利要求6所述的压印用的模板制造方法，其特征在于，

将上述疏液成分溶解的挥发性溶剂是氟系溶剂；

上述氟系的挥发性溶剂是挥发性比将上述疏液成分溶解的挥发性溶剂高的溶剂。

9.如权利要求6所述的压印用的模板制造方法，其特征在于，

上述氟系的挥发性溶剂是氟系不活性液体。

10.如权利要求6所述的压印用的模板制造方法，其特征在于，

在供给上述液体的工序中，在向涂敷了上述液态的疏液材料的上述模板开始供给上述液体后，使涂敷了上述液态的疏液材料的上述模板在水平面内旋转。