[发明专利]用于连续模式和脉冲模式操作的统一RF功率传输单输入、多输出控制

权利要求书

1.一种射频(RF)控制系统，包括：

RF产生器，包括输出RF信号的功率放大器，所述RF产生器还包括第一控制器；

用于接收所述RF信号的匹配网络，所述匹配网络产生多个RF输出信号至一个或多个等离子体室的多个相应电极，所述匹配网络包括比率调谐元件，所述比率调谐元件用于改变所述多个RF输出信号中的第一RF输出信号与所述多个RF输出信号中的第二RF输出信号之间的功率比率，或者用于改变从所述多个RF输出信号中的所选择的RF输出信号获得的值；以及

其中所述第一控制器根据第一控制回路确定比率控制信号并将所述比率控制信号传送至所述匹配网络，并且所述匹配网络根据所述比率控制信号控制所述比率调谐元件，

其中所述匹配网络进一步包括用于改变所述RF产生器的输出的阻抗的匹配调谐元件，并且其中所述第一控制器根据第二控制回路确定调谐控制信号并将调谐控制信号传送至所述匹配网络，并且所述匹配网络根据所述调谐控制信号控制所述匹配调谐元件，并且

其中所述匹配网络包括第二控制器，所述第二控制器接收所述比率控制信号并且根据所述比率控制信号控制所述比率调谐元件，以及接收所述调谐控制信号并且根据所述调谐控制信号控制所述匹配调谐元件。

2.根据权利要求1所述的射频(RF)控制系统，其中所述匹配网络将指示相应RF输出信号的特性的特性信号传送至所述RF产生器。

3.根据权利要求2所述的射频(RF)控制系统，其中所述第一控制器接收所述特性信号并且根据所述特性信号产生所述比率控制信号。

4.根据权利要求1所述的射频(RF)控制系统，其中所述RF产生器以连续波模式或脉冲模式操作。

5.一种射频(RF)控制系统，包括：

RF产生器，包括输出RF信号的功率放大器，所述RF产生器产生RF输出信号至匹配网络，所述匹配网络产生多个RF输出信号至一个或多个等离子体室的多个相应电极，所述匹配网络包括比率调谐元件，所述比率调谐元件用于改变所述多个RF输出信号中的第一RF输出信号与所述多个RF输出信号中的第二RF输出信号之间的功率比率，或者用于改变从所述多个RF输出信号中的所选择的RF输出信号获得的值；以及

控制器，用于根据第一控制回路确定比率控制信号并将比率控制信号传送至所述匹配网络，其中所述匹配网络根据所述比率控制信号控制所述比率调谐元件，并且

其中所述匹配网络进一步包括用于改变所述RF产生器的输出的阻抗的匹配调谐元件，并且其中所述控制器根据第二控制回路确定调谐控制信号并将调谐控制信号传送至所述匹配网络，并且所述匹配网络根据所述调谐控制信号控制所述匹配调谐元件。

6.根据权利要求5所述的射频(RF)控制系统，其中所述匹配网络将指示所述多个RF输出信号中的相应RF输出信号的特性的特性信号传送至所述RF产生器。

7.根据权利要求6所述的射频(RF)控制系统，其中所述控制器接收所述特性信号并且根据所述特性信号产生所述比率控制信号。

8.根据权利要求5所述的射频(RF)控制系统，其中所述RF产生器以连续波模式或脉冲模式操作。

9.根据权利要求8所述的射频(RF)控制系统，其中当以脉冲模式操作时，所述控制器：

将所述多个RF输出信号中的至少一个RF输出信号的样本存储在接收缓冲器中；

根据预定义的传递函数将所存储的样本传递至重构缓冲器中预先选择的二进制文件；以及

根据所述样本和所述重构缓冲器重构所述多个RF输出信号中的所述至少一个RF输出信号。

10.根据权利要求9所述的射频(RF)控制系统，其中如果所述重构缓冲器中的所选择的二进制文件已经存储一个以上样本，则所述控制器确定所述所选择的二进制文件中的样本的平均值。