[发明专利]玻璃基板

说明书

本发明涉及一种玻璃基板，其具有底面和顶面，所述底面是通过浮法进行成形时与熔融金属接触的面，所述顶面是该底面的相反侧的面，并且通过下式求出的X大于0.15且小于0.38。X＝[(主体中的50nm部分的钠浓度的积分值)‑(从顶面的表面起至深度50nm处为止的钠浓度的积分值)]/(主体中的50nm部分的钠浓度的积分值)。

技术领域

本发明涉及等离子体显示器、液晶显示器等平板显示器(FPD)、触控面板和太阳能电池等中使用的玻璃基板。

背景技术

关于等离子体显示器、液晶显示器等平板显示器(FPD)用的玻璃基板、触控面板用玻璃基板和薄膜太阳能电池用玻璃基板等各种玻璃板，作为其一例，通过浮法进行制造。

在使用浮法制造玻璃板时，在储存有熔融金属的浮抛窑的下游侧配备具有多个辊的输送路径，在利用该辊对在浮抛窑中成形的玻璃带连续地进行输送的同时缓慢地进行冷却。在浮抛窑中成形的玻璃带在由构成输送路径的多个辊连续地进行输送的同时缓慢地冷却而固化，并被切割为规定长度，由此得到玻璃基板。

发明内容

发明所要解决的课题

通过溅射法在以这样的方式得到的玻璃基板上形成ITO(添加锡的氧化铟)、AZO(添加铝的氧化锌)等膜时，具有在成膜背面产生白浊的问题。

析出到玻璃表面的白浊可以通过清洗而消除，但工序数增加，生产效率差。另外，通过溅射法在玻璃基板的两面形成膜时，当产生这样的白浊时，无法进行清洗，期望出现能够防止白浊的生成的技术。

因此，本发明的目的在于提供一种在通过溅射法成膜时能够防止成膜背面的白浊的生成的玻璃基板。

用于解决课题的手段

本发明人认为上述白浊为某种成分的析出，并进行了各种研究。在通过浮法制造玻璃时，有在输送路径中由于玻璃带与多个辊接触而导致玻璃带产生损伤的问题，因此，为了防止损伤，已知进行下述处理：对作为玻璃带与熔融金属接触的面的底面喷雾SO₂气体而进行脱碱，使SO₂与玻璃的成分反应而成为形成有硫酸盐的膜的状态的处理(以下也称为SO₂处理)(例如，日本特开平02-14841号公报)，对所述SO₂处理与上述白浊生成有关的可能性进行了研究。

其结果，本发明人发现，通过在具有作为通过浮法进行成形时与熔融金属接触的面的底面和作为该底面的相反侧的面的顶面的玻璃基板中将顶面中的钠浓度调节为特定的范围，能够抑制通过溅射法进行膜的成膜时在成膜背面生成白浊，从而完成了本发明。

即，本发明如下所述。

1.一种玻璃基板，其具有底面和顶面，所述底面是通过浮法进行成形时与熔融金属接触的面，所述顶面是该底面的相反侧的面，并且通过下式求出的X大于0.15且小于0.38。

下式中，钠浓度利用X射线光电子能谱仪进行测定。

X＝[(主体中的50nm部分的钠浓度的积分值)-(从顶面的表面起至深度50nm处为止的钠浓度的积分值)]/(主体中的50nm部分的钠浓度的积分值)

2.如上述1所述的玻璃基板，其中，以氧化物基准的质量百分率表示，所述玻璃基板含有3％～6％的Al₂O₃。

3.如上述1或2所述的玻璃基板，其为ITO膜成膜用的玻璃基板。

4.如上述1～3中任一项所述的玻璃基板，其中，所述玻璃基板包含通过溅射法形成的膜。

5.如上述4所述的玻璃基板，其中，所述膜为ITO膜。

6.一种触控面板，其包含上述1～5中任一项所述的玻璃基板。

发明效果