[发明专利]用于微机械窗结构的制造方法和相应的微机械窗结构

权利要求书

1.微机械窗结构，具有:

衬底(1)，其中，所述衬底(1)具有正面(4)和背面(5)，其中，所述衬底(1)具有凹部区域(6、7)，该凹部区域从所述正面(4)向所述背面(5)延伸；和

在所述凹部区域(6、7)内部展开的窗(F)，该窗由覆层(8)形成并且具有相对于所述正面(4)倾斜的平面的形状，其中，所述覆层(8)具有第一子覆层(8‘)和第二子覆层(8“)，其中，所述第一子覆层(8‘)是氮化物覆层并且所述第二子覆层(8“)是氧化物覆层，所述覆层至少是透明的或半透明的；其中，所述凹部区域(6、7)具有垂直于所述衬底(1)的所述正面(4)的表面，所述覆层(8)的部分形成在所述凹部区域(6、7)的垂直于所述衬底(1)所述正面(4)的所述表面上。

2.根据权利要求1所述的微机械窗结构，其中，所述凹部区域的形成通过超短脉冲激光来实施。

3.根据权利要求1所述的微机械窗结构，其中，所述凹部区域的形成通过KOH蚀刻来实施。

4.根据权利要求1所述的微机械窗结构，其中，在所述覆层(8)上形成蛾眼结构(10)。

5.根据权利要求1所述的微机械窗结构，其中，在所述覆层(8)的露出的窗区域上构造至少一个附加的防反射层。

6.根据权利要求1所述的微机械窗结构，其中，所述凹部区域的形成通过沟蚀刻、KOH蚀刻和/或铣削实现。

7.根据权利要求1所述的微机械窗结构，其中，所述窗是光学透明的。

8.根据权利要求1所述的微机械窗结构，其中，所述窗的所述覆层至少部分地通过所述背面上的所述凹部区域露出。

9.根据权利要求1所述的微机械窗结构，其中，所述窗跨越所述凹部区域。

10.根据权利要求1所述的微机械窗结构，其中，所述覆层具有压应力。

11.根据权利要求1所述的微机械窗结构，其中，所述第一子覆层具有压应力，所述第二子覆层具有拉应力。

12.根据权利要求11所述的微机械窗结构，其中，覆层具有压应力。