[发明专利]清洁组合物及其使用方法在审

申请号：	201680041416.5	申请日：	2016-07-14
公开（公告）号：	CN108138334A	公开（公告）日：	2018-06-08
发明（设计）人：	杉岛泰雄;朴起永;T·多瑞	申请（专利权）人：	富士胶片电子材料美国有限公司
主分类号：	C23G1/12	分类号：	C23G1/12
代理公司：	北京博思佳知识产权代理有限公司 11415	代理人：	林祥
地址：	美国罗***	国省代码：	美国;US
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摘要：
搜索关键词：	清洁组合物等离子体灰化等离子体蚀刻金属氧化物衬底去除制造工艺中间步骤半导体
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【权利要求书】：

1.一种清洁组合物，包含：

a)HF；

b)至少一种有机溶剂；

c)至少一种腐蚀抑制剂，所述至少一种腐蚀抑制剂选自由三唑、芳香族酸酐及其组合组成的组；和

d)水。

2.如权利要求1所述的组合物，其中，所述至少一种有机溶剂包含选自由醇、酮、醚和酯组成的组的溶剂。

3.如权利要求1所述的组合物，其中，所述至少一种有机溶剂包含选自由醇组成的组的溶剂。

4.如权利要求3所述的组合物，其中，所述醇是烷烃二醇。

5.如权利要求3所述的组合物，其中，所述烷烃二醇是二醇。

6.如权利要求5所述的组合物，其中，所述二醇选自由乙二醇、丙二醇、二甘醇、二丙二醇、三甘醇和四甘醇组成的组。

7.如权利要求6所述的组合物，其中，所述二醇是二丙二醇。

8.如权利要求1所述的组合物，其中，所述至少一种有机溶剂包含选自由醚组成的组的溶剂。

9.如权利要求8所述的组合物，其中，所述至少一种有机溶剂包含选自由二醇醚组成的组的溶剂。

10.如权利要求9所述的组合物，其中，所述二醇醚选自由以下组成的组：乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单正丙醚、乙二醇单异丙醚、乙二醇单正丁醚、二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇单丁醚、三乙二醇单甲醚、三乙二醇单乙醚、三乙二醇单丁醚、1-甲氧基-2-丙醇、2-甲氧基-1-丙醇、1-乙氧基-2异丙醇、2-乙氧基-1-丙醇、丙二醇单正丙醚、二丙二醇单甲醚、二丙二醇单乙醚、二丙二醇单丁醚、二丙二醇单正丙醚、三丙二醇单乙醚、三丙二醇单甲醚、乙二醇单苄醚和二乙二醇单苄醚。

11.如权利要求10所述的组合物，其中，所述二醇醚是三丙二醇单甲醚或二丙二醇单乙醚。

12.如权利要求1所述的组合物，其中，所述至少一种有机溶剂包含选自由酮组成的组的溶剂。

13.如权利要求1所述的组合物，其中，所述至少一种有机溶剂包含选自由环酮组成的组的溶剂。

14.如权利要求13所述的组合物，其中，所述环酮是环己酮。

15.如权利要求1所述的组合物，其中，所述组合物包含至少两种有机溶剂。

16.如权利要求15所述的组合物，其中，所述至少两种有机溶剂包含环己酮和二丙二醇。

17.如权利要求15所述的组合物，其中，所述至少两种有机溶剂包含三丙二醇甲醚和二乙二醇乙醚。

18.如权利要求1所述的组合物，其中，所述至少一种有机溶剂包含DMSO。

19.如权利要求1所述的组合物，其中，所述至少一种有机溶剂的量为所述组合物的至少95重量％。

20.如权利要求1所述的组合物，其中，所述至少一种腐蚀抑制剂包含经取代的苯并三唑或未经取代的苯并三唑。

21.如权利要求20所述的组合物，其中，所述至少一种腐蚀抑制剂包含苯并三唑，所述苯并三唑任选地被至少一种选自由烷基、芳基、卤素基、氨基、硝基、烷氧基和羟基组成的组的取代基取代。

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