[发明专利]用于分离玻璃或玻璃陶瓷部件的方法和装置

权利要求书

1.一种用于将部件（3）与玻璃元件或玻璃陶瓷元件（2）分离的方法，其中：

- 在所述玻璃元件或玻璃陶瓷元件（2）的体积中产生沿着分离线（4）邻近排列的细丝损伤（6）；并且

- 所述损伤通过超短脉冲激光器（10）的激光脉冲（8）产生，其中，所述玻璃元件或玻璃陶瓷元件（2）的材料对于所述激光脉冲（8）是透明的；并且

- 所述激光脉冲（8）在所述玻璃元件或玻璃陶瓷元件（2）的体积中产生等离子体，所述等离子体造成所述细丝损伤（6）；其中，

- 所述激光脉冲（8）在所述玻璃元件或玻璃陶瓷元件（2）上的入射点（80）在所述玻璃元件或玻璃陶瓷元件的表面（20）上沿着所述分离线移动；其中，

- 所述激光脉冲（8）在所述玻璃元件或玻璃陶瓷元件（2）上的入射点（80）在所述玻璃元件或玻璃陶瓷元件的所述表面（20）上在沿所述分离线（4）的方向上经过至少两次，其中，焦深在每次经过时发生变化，以便在不同深度处将所述细丝损伤（6）引入到所述玻璃元件或玻璃陶瓷元件中，

- 从经过到经过的偏移产生所述细丝损伤的阶梯式分层，

- 所述激光脉冲（8）倾斜地指向到所述玻璃元件或玻璃陶瓷元件（2）的所述表面（20）上，使得所述激光脉冲（8）的光传播方向以及因此所述细丝损伤（6）的纵向方向也相对于所述表面（20）倾斜地延伸；并且此外，

- 所述分离线（4）倾斜于或垂直于光入射面（82）延伸；并且其中，

- 在将倾斜于所述表面（20）延伸的、沿着所述分离线（4）邻近排列的所述细丝损伤（6）引入之后，所述部件（3）沿着所述分离线（4）在邻近排列的所述细丝损伤（6）处从所述玻璃元件或玻璃陶瓷元件（2）分离。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述激光脉冲（8）在入射到所述玻璃元件或玻璃陶瓷元件（2）上之前穿过用于光束引导的光学元件（99），所述光学元件具有至少两个平面的表面，所述激光脉冲（8）进入和离开所述至少两个平面的表面。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述光学元件（99）是棱镜（90、92）。

4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述光学元件（99）是截锥棱镜（89）。

5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述激光脉冲（8）在入射到所述棱镜（90、92）上之前穿过聚焦元件（93），其中，所述聚焦元件（93）布置成可在所述激光脉冲（8）的光入射方向上移动。

6.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，用于所述光学元件的光学玻璃和待加工的玻璃元件或玻璃陶瓷元件之间折射率的差在数量级Δn/n≤0.1中。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，用于所述光学元件的光学玻璃和待加工的玻璃元件或玻璃陶瓷元件之间折射率的差在数量级Δn/n≤0.05中。

8.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，用于所述光学元件的光学玻璃和待加工的玻璃元件或玻璃陶瓷元件之间折射率的差在数量级Δn/n≤0.01中。

9.根据权利要求6-8中任一项所述的方法，其特征在于，在所述激光脉冲（8）的光路中布置两个偏转反射镜（94、95），所述两个偏转反射镜（94、95）彼此之间的间距是可变的。

10.根据权利要求1-8中任一项所述的方法，其特征在于，所述激光脉冲以小于400kHz的重复率发射。

11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述激光脉冲以小于350kHz的重复率发射。

12.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述激光脉冲以小于300kHz的重复率发射。