[发明专利]线状槽形成方法及线状槽形成装置

权利要求书

1.一种线状槽形成方法，该方法包括：

抗蚀剂涂布工序，在未形成镁橄榄石被膜及张力赋予被膜的状态的取向性电磁钢板表面直接涂布抗蚀剂，所述抗蚀剂以热固性树脂为主成分；

激光照射工序，沿所述取向性电磁钢板的轧制方向周期性地进行激光扫描，所述激光扫描通过沿横穿所述取向性电磁钢板的轧制方向的方向进行扫描并同时照射激光，从而将照射了所述激光的部分的抗蚀剂除去；

蚀刻工序，对除去了所述抗蚀剂的部分的取向性电磁钢板进行蚀刻，形成线状槽；

抗蚀剂除去工序，在所述蚀刻工序之后，从所述取向性电磁钢板表面除去所述抗蚀剂，其中，

所述抗蚀剂的涂布厚度为0.5～10μm，

所述激光的输出功率为1500W以上，

所述激光扫描使用2～5台的激光照射装置进行，

一次扫描中照射的激光在钢板表面上实际扫描的钢板上扫描时间t’相对于每一次所述激光扫描的扫描时间t之比Y(＝t’/t)为0.8以下。

2.如权利要求1所述的线状槽形成方法，其中，

每一次所述激光扫描的扫描时间t为2.5毫秒以上。

3.如权利要求2所述的线状槽形成方法，其中，

所述激光扫描使用2～3台激光照射装置进行，

所述激光在与扫描方向垂直的方向上的射束径为超过0.1mm且0.4mm以下，

所述激光的长轴径相对于短轴径之比为1.25以下。

4.如权利要求2所述的线状槽形成方法，其中，

所述激光扫描使用4或5台激光照射装置进行，

所述激光在与扫描方向垂直的方向上的射束径为0.03mm以上且0.1mm以下，

所述激光的长轴径相对于短轴径之比为1.1以下。

5.一种线状槽形成装置，其依次配置有以下部分：

送出部，其用于送出卷绕成卷状的取向性电磁钢板；

焊接部，其用于将卷彼此接合；

抗蚀剂涂布部，其用于在未形成镁橄榄石被膜及张力赋予被膜的状态的所述取向性电磁钢板的表面直接涂布抗蚀剂，所述抗蚀剂以热固性树脂为主成分；

干燥部，其用于将涂布于所述取向性电磁钢板的表面的抗蚀剂干燥；

激光照射部，其用于对涂布有所述抗蚀剂的取向性电磁钢板的表面沿横穿所述取向性电磁钢板的轧制方向的方向进行扫描并同时照射激光，部分除去抗蚀剂；

蚀刻部，其用于对除去了抗蚀剂的部分的所述取向性电磁钢板进行蚀刻；

抗蚀剂除去部，其用于从所述取向性电磁钢板的表面除去抗蚀剂；

切断部，其用于将所述取向性电磁钢板切断；及

卷取部，其用于卷取所述取向性电磁钢板，

所述线状槽形成装置还具备用于使所述激光照射部的板通过速度为恒定的活套、以及激光屏蔽装置，

所述激光屏蔽装置用于屏蔽所述激光，使得一次扫描中照射的激光在钢板表面上实际扫描的钢板上扫描时间t’相对于每一次所述激光扫描的扫描时间t之比Y(＝t’/t)为0.8以下。