[发明专利]具有频率转换的射束调制器以及所属方法和激光加工机

权利要求书

1.一种用于对激光射束(2)进行功率调制的射束调制器(1)，所述射束调制器具有布置在入射的激光射束(2)的射束路径中的、可操控的偏转装置(3)，所述偏转装置用于偏转所述入射的激光射束(2)并且具有两个操控状态，其中，所述入射的激光射束(2)不同程度地(α₁，α₂)偏转，

其特征在于，

在不同程度偏转的两个激光射束(4a，4b)的射束路径中在所述偏转装置之后布置有至少一个非线性晶体(5；5′)，所述非线性晶体对不同程度偏转的两个激光射束中的一个以较高的效率进行频率转换并且对另一激光射束以较低的效率进行频率转换，并且在以较高的效率进行频率转换的激光射束以及以较低的效率进行频率转换的激光射束(6a，6b)的射束路径中布置有分离器(7)，所述分离器在空间上分离所述激光射束(6a，6b)的经频率转换的部分以及未经频率转换的部分，其中，空间上分离的两个激光射束(9a，9b，9c)中的一个形成功率调制的输出激光射束。

2.根据权利要求1所述的射束调制器，其特征在于，在所述偏转装置(3)的两个操控状态中的一个中，所述入射的激光射束(2)由所述偏转装置(3)以0°的角度(α₁)偏转。

3.根据权利要求1或2所述的射束调制器，其特征在于，所述不同程度偏转的两个激光射束(4a，4b)分别照射到所述至少一个非线性晶体(5；5′)上。

4.根据上述权利要求中任一项所述的射束调制器，其特征在于，所述不同程度偏转的两个激光射束中的一个(4a)在所述至少一个非线性晶体(5；5′)的对于频率转换所需的接受角度范围内照射到所述非线性晶体(5；5′)上，所述另一激光射束(4b)在所述接受角度范围以外照射到所述非线性晶体(5；5′)上。

5.根据上述权利要求中任一项所述的射束调制器，其特征在于，在所述不同程度偏转的两个激光射束(4a，4b)的射束路径中布置有非线性的倍频晶体(5)或用于使频率变为多倍的至少两个非线性晶体(5，5′)的组合。

6.根据上述权利要求中任一项所述的射束调制器，其特征在于，所述偏转装置(3)构造为电操控的声光调制器。

7.根据上述权利要求中任一项所述的射束调制器，其特征在于，所述分离器(7)构造为二向色镜。

8.根据上述权利要求中任一项所述的射束调制器，其特征在于，所述输出激光射束由经频率转换的激光射束(9a)形成。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的射束调制器，其特征在于，所述输出激光射束由未经频率转换的激光射束(9b，9c)形成。

10.根据上述权利要求中任一项所述的射束调制器，其特征在于对所述偏转装置(3)尤其电地进行操控的控制单元(10)。

11.根据权利要求10所述的射束调制器，其特征在于，所述控制单元(10)如此操控所述偏转装置(3)，使得所述入射的激光射束(2)以可调节的功率关系分配到经偏转的射束和未经偏转的射束(4a，4b)上。

12.根据上述权利要求中任一项所述的射束调制器，其特征在于探测器(12)以及调节单元(13)，所述探测器探测空间上分离的激光射束(9a，9b，9c)中的至少一个的功率，所述调节单元根据所探测的激光功率来操控所述偏转单元(3)。

13.一种用于加工工件(23)的激光加工机(20)，所述激光加工机具有用于产生激光射束(2)的激光射束产生器(21)、根据上述权利要求中任一项所述的射束调制器(1)、对所述射束调制器(1)的偏转装置(3)尤其电地进行操控的机器控制装置(13，22)。