[发明专利]DSR扬声器元件及制造DSR扬声器元件的方法

权利要求书

1.一种数字声音重构DSR扬声器元件，该DSR扬声器元件包括：

至少中央移动元件；

多个外围挠曲弯曲件，各挠曲弯曲件包括至少一对电极和至少压电材料层，其中，至少一个挠曲弯曲件包括分成相互电隔离的至少两个子电极的顶部电极和分成相互电隔离的至少两个子电极的底部电极，其中，当所述顶部电极的子电极连接至正电势并且所述顶部电极的另一子电极连接至负电势时，所述底部电极的相应子电极连接至相对于顶部电极的子电极相反的电势；并且其中，所述挠曲弯曲件连接到所述移动元件并且被构造成响应于施加于所述电极的电激励沿着与移动元件表面垂直的轴线移动所述移动元件，以产生声音；以及

至少机械止动件，该机械止动件被构造成限制所述移动元件的移动。

2.根据权利要求1所述的DSR扬声器元件，所述DSR扬声器元件包括基板，该基板包括腔，所述基板还充当所述机械止动件。

3.根据权利要求1或2中任一项所述的DSR扬声器元件，其中，所述机械止动件位于所述移动元件的一侧，其中，所述DSR扬声器元件还包括位于所述移动元件另一侧的另外的机械止动件。

4.根据权利要求1或2所述的DSR扬声器元件，其中，各挠曲弯曲件包括：

第一电极层，该第一电极层包括第一电极；

第一压电材料层，该第一压电材料层在至少所述第一电极层上；

第二电极层，该第二电极层在所述第一压电材料层上，所述第二电极层包括第二电极；以及

第二压电材料层，该第二压电材料层在至少所述第二电极层上。

5.根据权利要求4所述的DSR扬声器元件，其中，各挠曲弯曲件还包括在所述第二压电材料层上的第三电极层，所述第三电极层包括第三电极。

6.根据权利要求1或2所述的DSR扬声器元件，其中，所述移动元件包括压电材料和/或硅材料。

7.根据权利要求1或2所述的DSR扬声器元件，其中，所述压电材料层的至少一部分位于所述一对电极之间。

8.根据权利要求1或2所述的DSR扬声器元件，其中，所述移动元件和各挠曲弯曲件中的所述压电材料层通过淀积公共压电材料层并随后在所述公共压电材料层中形成间隙来制造。

9.根据权利要求8所述的DSR扬声器元件，其中，随后通过以下处理来形成所述间隙：

去除由能够被选择性去除的材料制成的翅片；或

蚀刻所述间隙中的材料。

10.根据权利要求1或2所述的DSR扬声器元件，其中，对于各挠曲弯曲件：

所述一对电极中的第一电极连接到第一导电元件，所述第一电极和所述第一导电元件属于第一电极层，

所述一对电极中的第二电极连接到第二导电元件，所述第二电极和所述第二导电元件属于第二电极层，并且

所述第一电极层的所述第一导电元件与所述第二电极层的所述第二电极元件不对齐。

11.一种数字声音重构DSR扬声器，该DSR扬声器包括根据权利要求1至10中任一项的DSR扬声器元件的阵列。