[发明专利]用于基体的输送设备

权利要求书

1.一种用于将带状的基体(1)传送穿过反应器(20)的设备，其中，所述基体(1)被传送元件(3、3’、4、4’、5、5’、6、6’)固持，这些传送元件能够通过驱动装置(15、15’)沿传送方向(V)移动，其中，所述传送件具有第一传送杆(3、3’、4、4’)和第二传送杆(5、5’、6、6’)，所述第一传送杆和第二传送杆在时间上交替地作用于基体(1)，其中，相应地作用于基体(1)的传送杆沿传送方向(V)移动，并且相应地没有作用于基体的传送杆沿相对于传送方向(V)相反的后退方向(R)移动，其特征在于，所述传送杆(3、3’、4、4’、5、5’、6、6’)具有夹紧侧面(9、9’、10、10’、11、11’、12、12’、13、13’)，用于将所述基体(1)的边缘(2、2’)夹紧地固持在两个夹紧侧面之间。

2.按照权利要求1所述的设备，其特征在于，所述设备具有成对地在传送方向(V)上分别布置在反应器(20)前面和后面的传送滑座(13、13’、14、14’)。

3.按照权利要求2所述的设备，其特征在于，所述传送滑座(13、13’、14、14’)如此布置并且与传送杆(3、3’至6、6’)相互连接，使得在运动过程中布置在反应器(20)的一个侧面上的传送滑座(13、14)彼此相向地运动，而布置在反应器(20)的另一个侧面上的传送滑座(13’、14’)彼此远离地运动，其中，第一传送杆(3、3’、4、4’)比第二传送杆(5、5’、6、6’)更短。

4.按照权利要求1所述的设备，其特征在于，所述传送杆具有下传送杆(4、4’、6、6’)和上传送杆(3、3’、5、5’)，其中，所述基体(1)通过分别沿传送方向(V)移动的传送杆、以夹在上传送杆和下传送杆的两个夹紧面(9、9’、10、10’、11、11’、12、1 2’)之间的形式被固持。

5.按照权利要求1所述的设备，其特征在于，所述传送杆(3、3’、4、4’、5、5’、6、6’)借助竖向驱动装置(7、7’、8、8’)沿着横向于基体(1)的面法线的方向能够从与基体(1)的贴靠位置转变到相对于基体(1)的间隔位置。

6.按照权利要求2所述的设备，其特征在于，所述设备具有用于传送滑座(13、13’、14、14’)的水平移动的水平驱动装置(15、15’)和用于使传送杆(3、3’、4、4’、5、5’、6、6’)在基体(1)上的贴靠位置与相对于基体(1)的间隔位置之间移动的竖向驱动装置(7、7’、8、8’)，其中，如此控制所述驱动装置(15、15’、7、7’、8、8’)，使得在传送滑座的运动折返点上或者在所有传送滑座(13、13’、14、14’)沿传送方向(V)运动时实施传送杆的移动。

7.按照权利要求1所述的设备，其特征在于，所述反应器(20)是CVD反应器。

8.按照权利要求1所述的设备，其特征在于，通过反应器(20)在温度>1000℃时使碳纳米颗粒、石墨烯或碳纳米管在基体(1)上沉积。

9.一种用于将带状的基体(1)传送穿过反应器(20)的设备，其中，所述基体(1)被传送元件(3、3’、4、4’、5、5’、6、6’)固持，这些传送元件能够通过驱动装置(15、15’)沿传送方向(V)移动，其中，所述传送件具有第一传送杆(3、3’、4、4’)和第二传送杆(5、5’、6、6’)，所述第一传送杆和第二传送杆在时间上交替地作用于基体(1)，其中，相应地作用于基体(1)的传送杆沿传送方向(V)移动，并且相应地没有作用于基体的传送杆沿相对于传送方向(V)相反的后退方向(R)移动，其特征在于，所述设备具有成对地在传送方向(V)上分别布置在反应器(20)前面和后面的传送滑座(13、13’、14、14’)。