[发明专利]感光性树脂组合物、固化膜、保护膜、绝缘膜和电子装置

说明书

技术领域

本发明涉及感光性树脂组合物、固化膜、保护膜、绝缘膜和电子装置。

背景技术

以往，作为半导体元件的表面保护膜或层间绝缘膜，从耐热性、电特性、机械特性的高低考虑，一直优选使用具有特定结构的聚酰胺树脂。在此，在使用这样的聚酰胺树脂作为半导体元件的保护膜、层间绝缘膜的情况下，从工艺的效率化的观点考虑，通常将该聚酰胺树脂溶解于有机溶剂中制成清漆状而使用。

与此相关，已知有专利文献1中公开的技术。在该文献中公开了一种将聚酰亚胺前体或聚苯并噁唑前体和具有特定结构的极性溶剂组合而得到的感光性树脂组合物，并且公开了如下内容：通过将感光性树脂组合物中的N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)的含量调整为0.1质量％以下，可得到不会随时间的变化而凝胶化，且灵敏度、机械特性令人满意的树脂组合物。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2014/115233号小册子

发明内容

发明要解决的技术问题

在此，本发明人进行了研究，结果得知在使用专利文献1的实施例5或6中公开的溶剂的情况下，与通常使用的N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)相比，在进行树脂组合物的显影时，显影密合性降低。

用于解决技术问题的手段

根据这样的见解进行了深入的研究，结果得知通过将包含在分子内具有醚键和酰胺键的化合物的有机溶剂和密合助剂并用，在包含聚酰胺树脂和光酸产生剂的感光性树脂组合物中，不仅能够得到良好的图案化性，而且能够抑制粘度上升，能够提高显影密合性。而且得知在将该感光性树脂组合物用于形成永久膜的情况下，能够抑制再配线时产生龟裂。发现通过这样的组成，感光性树脂组合物能够提高图案化性和显影密合性，并且改善对粘度上升和再配线时产生龟裂的抑制，从而完成了本发明。

根据本发明，提供一种感光性树脂组合物，其用于形成永久膜，该感光性树脂组合物的特征在于，包含：

(A)聚酰胺树脂，该聚酰胺树脂具备选自聚苯并噁唑结构、聚苯并噁唑前体结构、聚酰亚胺结构和聚酰亚胺前体结构中的结构；

(B)光酸产生剂；

(C)密合助剂；和

(D)有机溶剂，

所述(D)有机溶剂包含在分子内具有醚键和酰胺键的化合物。

根据本发明，提供一种由上述感光性树脂组合物的固化物构成的固化膜。

根据本发明，提供一种由上述固化膜构成的保护膜。

根据本发明，提供一种由上述固化膜构成的绝缘膜。

根据本发明，提供一种具备上述固化膜的电子装置。

发明效果

采用本发明，能够提供一种用于形成永久膜的感光性树脂组合物，该感光性树脂组合物的图案化性和显影密合性优异，且能够抑制粘度上升和再配线时的龟裂的产生。

附图说明

上述的目的和其他的目的、特征和优点通过以下所述的优选实施方式和附随于其的以下的附图将变得进一步明确。

图1为表示本实施方式的电子装置的一个例子的剖视图。

具体实施方式

以下，适当地利用附图对实施方式进行说明。另外，在所有附图中，对相同的构成要件标注相同的符号，并适当省略说明。另外，“～”只要未特别说明，就表示以上至以下。

[感光性树脂组合物]

本实施方式的感光性树脂组合物为用于形成永久膜的感光性树脂组合物，其包含以下成分：

(A)聚酰胺树脂，该聚酰胺树脂具备选自聚苯并噁唑结构、聚苯并噁唑前体结构、聚酰亚胺结构和聚酰亚胺前体结构中的结构；

(B)光酸产生剂；

(C)密合助剂；和

(D)有机溶剂，

其中，具备以下特征：(D)有机溶剂包含在分子内具有醚键和酰胺键的化合物。

首先，对本实施方式的感光性树脂组合物的用途进行说明。

本实施方式的感光性树脂组合物用于形成永久膜。通过将感光性树脂组合物制成固化物，可得到构成永久膜的固化膜。在本实施方式中，例如在通过曝光和显影使由感光性树脂组合物构成的涂膜图案化为所希望的形状之后，通过热处理等使该涂膜固化，由此形成固化膜(永久膜)。

在本实施方式中，包含在分子内具有醚键和酰胺键的化合物的(D)有机溶剂，还具有以下的附随效果：对感光性树脂组合物的固化膜的损伤少，能够抑制固化膜产生龟裂。