[发明专利]用于化学机械平坦化应用的粘合剂

权利要求书

1.用于CMP层叠垫的层间粘合剂，所述粘合剂包含：

粘合剂组分；

其中，所述粘合剂显示出(i)在从约25℃至约80℃的范围内的温度下大于10⁵Pa的模量，以及(ii)在大于100℃的温度下小于10⁵Pa的模量。

2.权利要求1所述的粘合剂，其中所述粘合剂组分是任选地含有红外吸收添加剂的IR粘合剂。

3.权利要求1或2所述的粘合剂，其中所述粘合剂组分选自聚氨酯粘合剂、丙烯酸粘合剂、橡胶粘合剂、聚酯粘合剂和有机硅粘合剂。

4.权利要求1-3中任一项所述的粘合剂，其中所述粘合剂组分包含红外吸收添加剂，所述红外吸收添加剂具有在从约1微米至约20微米的范围内的粒径。

5.权利要求2-4中任一项所述的粘合剂，其中所述红外吸收添加剂是炭黑或炭黑与另一种红外吸收添加剂的组合。

6.权利要求2-5中任一项所述的粘合剂，其中所述红外吸收添加剂构成所述粘合剂的总重量的从约0.1％至约20％。

7.权利要求6所述的粘合剂，其中所述红外吸收添加剂构成所述粘合剂的总重量的从约1％至约10％。

8.权利要求1-7中任一项所述的粘合剂，其进一步包含至少一种选自增粘剂、增塑剂、填料、添加剂、及其组合的试剂。

9.权利要求1-8中任一项所述的粘合剂，其中所述粘合剂进一步包含增塑剂。

10.权利要求9所述的粘合剂，其中所述增塑剂是磺酰胺增塑剂。

11.权利要求10所述的粘合剂，其中所述磺酰胺增塑剂是N-丁基苯磺酰胺。

12.权利要求9所述的粘合剂，其中所述增塑剂构成所述粘合剂的从约0.1重量％至约20重量％。

13.权利要求1-12中任一项所述的粘合剂，其中所述粘合剂进一步包含增粘剂。

14.权利要求13所述的粘合剂，其中所述增粘剂是萜烯酚增粘剂。

15.权利要求12所述的粘合剂，其中所述增粘剂构成所述粘合剂的从约0.1重量％至约20重量％。

16.转移带，其包含：

衬垫和载体中的至少一种；

布置在所述衬垫和所述载体中的至少一种上的粘合剂层；

其中所述粘合剂包括粘合剂组分，所述粘合剂显示出(i)在从约25℃至约80℃的范围内的温度下大于10⁵Pa的模量，以及(ii)在大于100℃的温度下小于10⁵Pa的模量。

17.权利要求16所述的转移带，其中所述粘合剂组分是任选地含有红外吸收添加剂的IR粘合剂。

18.权利要求16或17所述的转移带，其中所述粘合剂组分选自聚氨酯粘合剂、丙烯酸粘合剂、橡胶粘合剂、聚酯粘合剂和有机硅粘合剂。

19.权利要求16-18中任一项所述的转移带，其中所述粘合剂组分包含红外吸收添加剂，所述红外吸收添加剂具有在从约1微米至约20微米的范围内的粒径。

20.权利要求16-19中任一项所述的转移带，其中所述红外吸收添加剂是炭黑或炭黑与另一种红外吸收添加剂的组合。

21.权利要求16-20中任一项所述的转移带，其中所述红外吸收添加剂构成所述粘合剂的总重量的从约0.1％至约20％。

22.权利要求21所述的转移带，其中所述红外吸收添加剂构成所述粘合剂的总重量的从约1％至约10％。

23.权利要求16-22中任一项所述的转移带，其进一步包含至少一种选自增粘剂、增塑剂、填料、添加剂、及其组合的试剂。

24.权利要求16-23中任一项所述的转移带，其中所述粘合剂进一步包含增塑剂。

25.权利要求24所述的转移带，其中所述增塑剂是磺酰胺增塑剂。

26.权利要求25所述的转移带，其中所述磺酰胺增塑剂是N-丁基苯磺酰胺。