[发明专利]净化装置、净化储料器以及净化气体的供给方法

说明书

技术领域

本发明涉及净化装置、净化储料器以及净化气体的供给方法。

背景技术

关于收容晶片或掩模等的前开式晶圆盒(FOUP)、标准机械接口晶圆盒(SMIF Pod)、掩模盒(Pod)等容器，在保管时利用净化装置朝容器内填充洁净干燥空气或氮气等净化气体，抑制收容物的污染或氧化等。公知该净化装置装备于用于保管容器的净化储料器。若发生利用净化装置进行的净化气体的供给不足等净化的异常，则会产生收容物的污染等，因此，提出有测定朝容器供给的净化气体的流量，检测净化的异常的技术(例如参照专利文献1)。在专利文献1中，利用传感器测定朝载置于载置部的容器内部供给的净化气体的流量或压力，判定是否进行了良好的净化。在这样的净化装置中，通过针对每个载置部配置电磁阀或流量控制装置来调整针对各容器的净化气体的流量。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特许第4670808号说明书

发明内容

发明所要解决的课题

然而，在针对每个载置部配置电磁阀或流量控制装置的结构中，需要用于配置这些设备的空间，因此各净化装置大型化。近年来，谋求确保净化储料器中能够收容的容器数、并且实现净化储料器的小型化，为此，谋求使在各载置部设置的净化装置小型化。

鉴于以上状况，本发明的目的在于提供一种能够简化结构而实现小型化的净化装置、净化储料器以及净化气体的供给方法。

用于解决课题的手段

本发明所涉及的净化装置具备：多个载置部，供容器载置，且被分组化；喷嘴，形成为通过在载置部载置容器来开放朝容器供给净化气体的流路；以及流量控制装置，基于组内的容器的个数来调整朝组内供给的净化气体的流量。

并且，也可以形成为，载置部分别具有检测是否载置有容器的检测部。并且，也可以形成为，喷嘴具有当在载置部未载置容器的状态下借助净化气体的压力来封闭流路的盖部，当在载置部载置有容器的情况下盖部借助容器的重量来开放流路。并且，也可以形成为，当在组内载置有新的容器的情况下，流量控制装置使净化气体的流量暂时减少然后使其逐渐增加至预定流量。并且，也可以形成为，将沿水平方向或者铅垂方向排列的多个载置部作为组。

本发明所涉及的净化储料器具备多个上述的净化装置。

并且，也可以形成为，具备输送装置，该输送装置能够沿着净化装置的多个载置部行进，相对于载置部移载容器，净化装置的流量控制装置集中配置在输送装置的行进范围的端部侧。

本发明所涉及的净化气体的供给方法是对在被分组化的多个载置部载置的容器供给净化气体的方法，包括：通过在载置部载置容器来开放朝容器供给净化气体的流路；以及基于组内的容器的个数来调整朝组内供给的净化气体的流量。

发明效果

根据本发明所涉及的净化装置，在组内，在载置有容器的载置部的流路中流过净化气体，但在未载置容器的载置部的流路中并未流过净化气体。因而，通过基于组内的容器的个数来调整净化气体的流量，能够调整朝各容器供给的净化气体的流量。由此，无需针对每个载置部设置电磁阀或流量控制装置，通过作为整体简化结构，能够实现节省空间化，能够使净化装置小型化。

并且，在载置部分别具有检测是否载置有容器的检测部的装置中，能够更可靠地检测组内的容器的个数。并且，喷嘴具有当在载置部未载置容器的状态下借助净化气体的压力来封闭流路的盖部，在当在载置部载置有容器的情况下盖部借助容器的重量来开放流路的装置中，能够利用盖部可靠地进行流路的开闭。并且，在当在组内载置有新的容器的情况下，流量控制装置使净化气体的流量暂时减少然后使其逐渐增加至预定流量的装置中，能够抑制朝新载置的容器突然供给大量的净化气体这一情况，能够防止容器内的收容物的振动。并且，在将沿水平方向或者铅垂方向排列的多个载置部作为组的装置中，针对沿水平方向或者铅垂方向排列的多个载置部的每一个组分别设置流量控制装置即可，因此能够实现节省空间化。

根据本发明所涉及的净化储料器，由于具备多个能够实现节省空间化的净化装置，因此能够缩小各载置部的进深尺寸，能够形成为小型的净化储料器。

并且，在具备能够沿净化装置的多个载置部行进、并相对于载置部移载容器的输送装置，净化装置的流量控制装置集中配置在输送装置的行进范围的端部侧的装置中，由于将流量控制装置集中配置在净化储料器的一部分，因此能够实现净化储料器的小型化，并且对于作业者来说能够容易进行流量控制装置的设置或维护等。