[发明专利]包括通过螺杆泵馈给的喷射分配系统及相关方法

权利要求书

1.一种喷射系统，用于将流体的微滴分配到基底上，所述喷射系统包括：

喷射分配器本体，所述喷射分配器本体包括：流体腔室；流体入口和分配出口，所述流体入口和所述分配出口与所述流体腔室连通；以及阀座，所述阀座在所述流体腔室中被限定在所述流体入口和所述分配出口之间；

阀元件，所述阀元件延伸到所述流体腔室中；

阀致动器，所述阀致动器与所述阀元件可操作地联接，用于使所述阀元件移动成与阀座接合和脱离，由此限定用于迫使微滴从所述分配出口喷出的喷射分配循环；和

流体供应组件，所述流体供应组件与所述喷射分配器本体联接并且包括螺杆泵，所述螺杆泵将流体从流体源馈给到所述喷射分配器本体的流体入口。

2.根据权利要求1所述的喷射系统，所述螺杆泵进一步包括：

泵壳，所述泵壳限定沿着伸长长度的导管，所述导管具有波状外围；和

中央驱动构件，所述中央驱动构件延伸穿过所述导管以限定多个分离的腔室，所述多个分离的腔室被限定在所述中央驱动构件和所述波状外围之间，所述中央驱动构件旋转以沿着所述导管的伸长长度并且朝向所述流体入口传送所述多个分离的腔室，使得沿着所述导管的整个伸长长度对所述多个分离的腔室中的每个腔室中的流体施加推力。

3.根据权利要求2所述的喷射系统，所述螺杆泵在所述喷射系统处的一系列连续的喷射分配循环期间连续操作以始终保持所述喷射分配器本体的流体腔室内的流入流体压力。

4.根据权利要求3所述的喷射系统，所述阀致动器控制所述喷射分配循环，使得所述流体腔室中的流入流体压力引起针对每个喷射分配循环具有一致体积的微滴。

5.根据权利要求4所述的喷射系统，其中，所述螺杆泵操作以利用在所述喷射分配循环中的每个喷射分配循环期间移除的等效体积的流体对所述流体腔室再填充。

6.根据权利要求2所述的喷射系统，进一步包括：

控制器，所述控制器被可操作地联接至所述阀致动器和所述螺杆泵，所述控制器致动所述螺杆泵以使所述中央驱动构件旋转针对所述阀致动器的每次致动设定的增量。

7.根据权利要求1所述的喷射系统，进一步包括：

压力传感器，所述压力传感器被定位在所述流体入口和所述流体腔室之间的流动路径中并且被构造成测量所述流动路径中的流入流体压力；和

控制器，所述控制器被可操作地联接至所述螺杆泵，所述控制器基于来自所述压力传感器的反馈调节所述螺杆泵的致动以维持流入流体压力。

8.根据权利要求7所述的喷射系统，其中所述压力传感器包括：

隔膜，所述隔膜位于所述喷射分配器本体处与所述流体入口和所述流体腔室之间的所述流动路径连通，所述隔膜由此接收所述流动路径中的流体压力；和

负载传感器，所述负载传感器与所述隔膜联接并且被构造成基于从所述隔膜传递的流体压力来测量力，由此确认所述流体压力保持恒定。

9.根据权利要求1所述的喷射系统，进一步包括：

控制器，所述控制器被可操作地联接至所述螺杆泵，所述控制器致动所述螺杆泵以向所述流体入口供应具有至少7barg的流入流体压力的流体。

10.根据权利要求9所述的喷射系统，所述控制器还被可操作地联接至所述阀致动器并且操作所述阀致动器，使得所述阀元件每秒执行多达500个喷射分配循环。

11.根据权利要求9所述的喷射系统，所述阀致动器包括压电元件，所述压电元件被可操作地联接至所述阀元件以产生所述阀元件的往复移动。

12.根据权利要求11所述的喷射系统，所述控制器还被可操作地联接至所述阀致动器并且操作所述阀致动器，使得所述阀元件每秒执行多达3000个喷射分配循环。