[发明专利]扫描显微镜

权利要求书

1.扫描显微镜(20)，其包括：

设置在照射光路(26)中的物镜(48)，该物镜用于使照射光束(24)聚焦到样品(52)上；

在照射光路(26)中设置在物镜(48)上游的扫描单元(38)，用于使照射光束(24)偏转，使得通过物镜(48)聚焦的照射光束(24)在样品(52)上实施扫描运动；和

设置在检测光路(66)中的检测单元(58)，该检测单元用于接收未通过扫描单元(38)偏转的检测光束(54)；

其中，检测单元(58)为了影响检测光束(54)的光谱而包含至少一个光谱选择构件(10)，该构件具有带有光谱边缘的作用面(12)，该光谱边缘随着检测光束(54)在作用面(12)上的入射位置而变化；

其特征在于：所述光谱选择构件(10)的作用面(12)在检测光路(66)中垂直于所述检测光路的光轴设置在物镜光瞳(50)的成像的位置处，其中因照射光束的扫描运动而出现的检测光束入射到作用面上的最大入射角度等于或小于35°；或者

所述光谱选择构件(10)的作用面(12)在检测光路(66)中倾斜于所述检测光路的光轴设置在如下位置处，在该位置处因照射光束(24)的扫描运动而出现的检测光束(54)入射到作用面(12)上的入射角的变化所导致的作用面的光谱边缘的变化，至少部分地由检测光束(54)入射到作用面(12)上的位置的变化引起的作用面(12)的光谱边缘的相反变化补偿，其中所述光谱选择构件(10)的作用面(12)沿着检测光路(66)的光轴离物镜光瞳(50)的成像的位置具有一距离(Δz)，该距离是根据检测光束(54)的入射角的变化预定的，以及所述距离Δz0这样预定，使得对于所有扫描角度θ满足以下条件：

其中，表示作用面(12)的光谱边缘的在扫描角度θ和角度时出现的变化，

ED表示每段光谱边缘在作用面(12)上的变化，和

表示作用面(12)相对于检测光路(66)的光轴设置的角度。

2.根据权利要求1所述的扫描显微镜(20)，其特征在于，所述距离预定成，使得光谱边缘与预定的边缘位置的偏差对于所有扫描角度最小。

3.根据上述权利要求之一所述的扫描显微镜(20)，其特征在于，所述光谱选择构件的作用面(12)设置在检测光路(66)中，使得该作用面的面法线相对于检测光路(66)的光轴以预定的角度倾斜。

4.根据权利要求3所述的扫描显微镜(20)，其特征在于，所述预定的角度等于或小于65°。

5.根据权利要求1所述的扫描显微镜(20)，其特征在于，所述光谱选择构件(10)的作用面(12)构成为，使得其光谱边缘基本上线性地随检测光束(54)入射到作用面(12)上的入射角变化。

6.根据权利要求1所述的扫描显微镜(20)，其特征在于，检测光束(54)入射到光谱选择构件(10)的作用面(12)上的、根据照射光束(24)的扫描运动而变化的入射角限于如下的角度范围，在该角度范围内检测光束(54)在作用面(12)上的入射位置近似线性地随所述入射角变化。

7.根据权利要求1所述的扫描显微镜(20)，其特征在于，所述至少一个光谱选择构件(10)包括至少一个分束器和/或至少一个边缘滤光器。

8.根据权利要求7所述的扫描显微镜(20)，其特征在于，所述至少一个边缘滤光器包括至少一个短通滤光器、至少一个长通滤光器和/或至少一个带通滤光器。

9.根据权利要求8所述的扫描显微镜(20)，其特征在于，所述带通滤光器由沿着检测光路(66)的光轴相继设置的短通滤光器和长通滤光器形成。

10.根据权利要求1所述的扫描显微镜(20)，其特征在于，所述光谱选择构件(10)的作用面(12)构成为，使得该作用面的光谱边缘沿着变化轴(V)线性地或非线性地随检测光束(54)的入射位置变化。