[发明专利]具有增加的寿命的电容式微机械超声换能器

权利要求书

1.一种被保护以免受过电流状况影响的微机械超声换能器阵列，包括：

衬底；

多个微机械超声换能器单元，其被形成在所述衬底上，每个单元具有包括顶部电极的膜以及耦合到所述衬底的底部电极，

其中，所述顶部电极是被布置为耦合到公共参考电位的公共电极，而所述底部电极是被布置为耦合到交流驱动信号的信号电极；并且

其中，每个微机械超声换能器单元还包括耦合到所述信号电极的一个熔断器，所述熔断器被布置为在所述微机械超声换能器单元的过电流状况的情况下断开，以将所述微机械超声换能器单元与所述阵列的其他微机械超声换能器单元隔离。

2.如权利要求1所述的微机械超声换能器阵列，其中，每个熔断器与微机械超声换能器单元的所述底部电极串联耦合。

3.如权利要求1至2中的任一项所述的微机械超声换能器阵列，其中，每个熔断器还包括被布置为通过加热或电迁移而断开的熔断器。

4.如权利要求1至2中的任一项所述的微机械超声换能器阵列，还包括：

集成电路，其耦合到所述微机械超声换能器阵列以控制所述微机械超声换能器单元的操作，

其中，所述熔断器被定位于所述集成电路上。

5.如权利要求4所述的微机械超声换能器阵列，其中，所述集成电路还包括专用集成电路。

6.如权利要求5所述的微机械超声换能器阵列，其中，所述专用集成电路还包括与所述微机械超声换能器单元的所述衬底分离的衬底，其中，所述集成电路被形成在与所述微机械超声换能器单元的所述衬底分离的衬底上，

其中，所述集成电路电耦合到所述微机械超声换能器单元以控制所述微机械超声换能器单元的操作。

7.如权利要求5所述的微机械超声换能器阵列，其中，所述专用集成电路还包括被形成在所述微机械超声换能器单元的所述衬底上的集成电路，所述集成电路电耦合到所述微机械超声换能器阵列以控制所述微机械超声换能器阵列的操作。

8.如权利要求7所述的微机械超声换能器阵列，其中，所述熔断器被形成在具有所述集成电路的所述衬底上。

9.如权利要求8所述的微机械超声换能器阵列，其中，所述熔断器还被形成在具有带半导体材料的所述集成电路的所述衬底上。

10.如权利要求9所述的微机械超声换能器阵列，其中，所述半导体材料还包括集成电路金属层或多晶硅层。

11.如权利要求10所述的微机械超声换能器阵列，其中，所述熔断器还包括半导体材料的窄化的迹线。

12.如权利要求9所述的微机械超声换能器阵列，其中，所述熔断器还包括预定尺度的通孔。

13.如权利要求7或9所述的微机械超声换能器阵列，其中，所述专用集成电路还包括微型波束形成器。

14.如权利要求1至2中的任一项所述的微机械超声换能器阵列，其中，所述多个微机械超声换能器单元的公共电极互连。

15.如权利要求14所述的微机械超声换能器阵列，其中，每个微机械超声换能器单元的所述公共电极被布置为耦合到地电位，而所述信号电极还被布置为耦合到DC参考电位和所述交流驱动信号两者。