[发明专利]用于清洁和涂覆金属带材的方法和设备

权利要求书

1.一种用于清洁和涂覆金属带材的方法，包括以下步骤：

-在施加涂层之前清洁金属带材，

-通过在蒸气室中加热材料来产生涂覆蒸气，

-通过连接至蒸气室的蒸气分配部分，在沉积室中将涂覆蒸气施加到金属带材上，且

-其中在加热的外壳中施加涂层，

其特征在于，在连接至沉积室的清洁室中清洁金属带材，且其中将清洁室中的压力保持在0.01-100mbar的范围内，并将沉积室中的压力保持在0.01-10mbar的范围内。

2.根据权利要求1所述的方法，其中通过使用等离子体清洁技术来清洁金属带材。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中在金属带材进入沉积室之前维持气流以除去由金属带材的清洁所产生的残留物。

4.根据权利要求3所述的方法，其中通过使用在清洁室与沉积室之间的气体轴承锁来维持气流。

5.根据权利要求1至4中的一项或多项所述的方法，其中在清洁室与沉积室之间设置中间室，气体轴承锁将中间室连接至清洁室和沉积室。

6.根据权利要求1-5中的一项或多项所述的方法，其中在进入沉积室之前对金属带材进行机械清洁。

7.根据权利要求1-5中的一项或多项所述的方法，其中在中间室内部使所述金属带材经受加压气体流。

8.根据权利要求1至7中的一项或多项所述的方法，其中在施加涂层之前使带材活化。

9.一种用于清洁和涂覆金属带材的设备，所述设备具有：

-沉积室，

-在用于金属带材进入和离开设备的入口和出口部分处的气锁，

-加热金属并产生涂覆蒸气的蒸气室，

-具有一个或多个孔口以将涂覆蒸气引导至金属带材的蒸气分配部分，

-至少部分地封闭连接至分配部分的空间的罩，其具有指向待涂覆的金属带材的开放侧，

-加热所述罩的加热装置，和

-将蒸气室连接至沉积室中的分配部分的连接装置，

其特征在于，所述设备包括设置有等离子体清洁装置的清洁室以清洁金属带材，且其中清洁室连接至沉积室，在沉积室中将涂覆蒸气施加至金属带材。

10.根据权利要求9所述的设备，其中清洁室设置有提供通过清洁室的气流且维持0.01-100mbar的范围内的真空压力的装置。

11.根据权利要求9或10所述的设备，其中清洁室与沉积室之间的连接包括气锁。

12.根据前述权利要求中的一项或多项所述的设备，其中清洁室与沉积室之间的连接包括在相对侧上设置有气锁的中间室。

13.根据权利要求12所述的设备，其中至少一个气锁是气体轴承锁，其具有至少一个具有气体供应装置和连接至气体泵送装置的一个或多个凹槽的透气性轴承表面。

14.根据权利要求13所述的设备，其中至少在清洁室侧的气体轴承锁在透气性表面之前设置有一个或多个凹槽。

15.根据权利要求13或14所述的设备，其中凹槽和透气性轴承表面以相对的一对凹槽和轴承表面设置。

16.根据权利要求12-14中的一项或多项所述的设备，其中设置加压气体供应装置并且在中间室装置内部以在金属带材的表面处引导加压气体流。

17.根据前述权利要求中的一项或多项所述的设备，其中在中间室或沉积室中设置等离子体活化装置。