[发明专利]辐射器模块以及辐射器模块的应用在审
申请号: | 201680048053.8 | 申请日: | 2016-07-20 |
公开(公告)号: | CN107924854A | 公开(公告)日: | 2018-04-17 |
发明(设计)人: | J·韦伯;B·韦伯;F·迪尔 | 申请(专利权)人: | 贺利氏特种光源有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所11247 | 代理人: | 金林辉,吴鹏 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 辐射器 模块 以及 应用 | ||
技术领域
本发明涉及一种辐射器模块,其具有带有布置在辐射器平面中的、第一辐射管的第一红外线辐射器和带有布置在辐射器平面中的第二辐射管的第二红外线辐射器。
此外,本发明涉及一种辐射器模块的应用。
本发明意义上的辐射器模块适用于照射具有反射表面的基质,例如用于照射具有金属表面的基质。此外,根据本发明的照射模块可用于照射透明的基质,特别是在如下照射装置中照射透明的基质,即,在该照射装置中为了提高照射效率,在透明的基质之下布置有反射器,该反射器将穿过基质的辐射份额反射回基质上。
反射表面是完全或部分地反射射到其上的辐射的表面。反射表面可具有不反射的部分面。反射表面通常具有至少50%的高的反射率。
反射率是被反射的能量与射入的能量的比例,并且例如可如下获得:
ρ=Pr/P0,
其中,Pr是被反射的辐射的功率,P0是射入的辐射的功率。
本发明意义上的辐射器模块设计成用于实现高的照射强度;其例如可用于为铜板镀锡,用于加热基质、例如带或板,用于制造被印刷的电子装置或用于干燥墨水。
背景技术
在已知的红外线辐射器模块中,多个红外线辐射器布置在一个辐射器平面中。该辐射器平面常常用作面式辐射器。
面式辐射器具有前侧和后侧。通常,面式辐射器前侧面对过程室,从而在这种类型的辐射器模块中,仅仅向面式辐射器前侧放射的辐射可作为可用辐射以供使用。因此期望的是,使由红外线辐射器放射出的辐射中的尽可能高的份额朝向面式辐射器前侧定向,因为仅这部分辐射可用于照射基质。
然而,红外线辐射器原则上放射非定向的辐射。尽管如此,为了提供尽可能高份额的由红外线辐射器放射的用于基质照射的辐射并且同时能在过程室中实现高的照射强度,通常为多个红外线辐射器分配共同的反射器,该反射器以与红外线辐射器成预定距离的方式伸延。
这种反射器反射到达面式辐射器后侧的辐射份额并且使其转向基质的方向。
例如从文献DE 10 2013 105 959 A1中已知具有这种类型的辐射器模块的照射装置。辐射器模块具有壳体,在壳体中布置多个双管-红外线辐射器。此外,壳体在其内侧上设有反射器,从而被放射的红外线辐射的尽可能大的份额在基质上耦入。因此,已知的辐射器模块通常具有一方面由红外线辐射器并且另一方面由反射器界定的后腔。
然而,使用独立的反射器具有的缺点是,反射器的辐射不总是直接被反射到基质上,而是,被反射的辐射也能射到邻近的红外线辐射器上并且在那里重新被反射。在此,通常观察到辐射损失,其会损害辐射器模块的照射效率。特别是当应利用辐射器模块实现高的照射强度时,出现该问题。设计用于高的照射强度的辐射器模块常常具有紧凑的结构形式,其中,邻近的红外线辐射器彼此具有尽可能小的距离。但是,随着红外线辐射器的距离减小,同时会增大在红外线辐射器处不期望地反射或吸收辐射的可能性。由此,损害了辐射器模块的能效。
发明内容
发明目的
因此,本发明的目的是,给出一种设计成用于高的照射强度的辐射器模块,其具有高的能效。
此外,本发明的目的是,给出一种辐射器模块的应用。
本发明的概述
在辐射器模块方面,根据本发明,通过以下方式实现以上所述的目的,即,在第一辐射管和第二辐射管之间布置有套管,并且第一辐射管、第二辐射管和套管分别设有反射覆层/进行反射的覆层。
特别是在照射反射基质时,出现的问题是,基质不能吸收射到基质上的全部辐射。相反常常是,较大的辐射份额被基质自身反射并且向辐射器模块的方向返回。这具有的结果是,实际上,对准基质定向的辐射的仅仅一部分是可用辐射。
本发明基于的认识是,当被基质反射的辐射份额也可尽可能直接地被引导回基质上时,可提高辐射器模块的能效。为此,根据本发明,相对于现有技术提出两种改进方案,其中一个是,设置附加的套管,并且另一个是,在红外线辐射器和套管上设置反射覆层。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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