[发明专利]用于气体流量控制的方法和设备

权利要求书

1.一种控制通过控制阀的气体的流速的方法，所述方法包括：

生成将气体流量控制阀的上游的压力、所测量的所述阀的位置和流速联系起来的查找表；

在所述气体流量控制阀的上游的压力以及用于根据所述查找表获得所确定的位置所需要的驱动信号的基础上，确立通过所述控制阀的流速；

如果所述压力确实发生了变化，则继续使所述气体流量控制阀保持在所确定的位置上，从而随着所述压力的变化提供预期流速；

使用所述气体流量控制阀的上游的流量传感器来确定所述流速；

计算来自所述查找表的所述预期流速和通过所述流量传感器确定的流速之间的差异，

使用所述差异来更新所述查找表，并且继续测量所述压力并对所述气体流量控制阀进行调整，以实现所述预期流速，以及

如果所述差异超出预定值则发送警报。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述流量传感器是具有第二查找表的流量限制器，所述第二查找表基于所述流量限制器的上游和下游的压力以及所述流量限制器的温度的测量结果来确定流速。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，所述流量限制器包括管，并且所述方法还包括使所述流量限制器的上游的压力保持至少是所述流量限制器的下游的压力的两倍。

4.根据权利要求2所述的方法，其中，所述流量限制器包括形成于经机械加工的金属块中的通道。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述流量传感器是热传感器，并且所述方法还包括根据所述热传感器的质量流量信号来获得所述流速。

6.一种控制通过控制阀的气体的流速的方法，所述方法包括：

a.生成使气体流量控制阀的上游的压力、所测量的所述阀的位置和流速相关联的第一查找表；

b.确定通过位于所述控制阀的上游的流量限制器的气体的流速，其中，所述气体流速是利用第二查找表以及所述流量限制器的上游的压力、所述流量限制器的下游的压力和所述流量限制器的温度的测量值确定的；

c.由所述第一查找表来确定用于获得预期流速所需的控制阀位置的变化；

d.驱动该控制阀位置的变化；

e.在所述预期流速处于非零值的时间内重复步骤b-d。

7.一种用于控制气体的流量的设备，其包含可控制阀，其中，测量所述阀的位置和所述阀的上游的气体压力，并且将其与第一查找表结合使用，以确定通过所述阀的气体的流速；以及所述可控制阀的上游的流量限制器，其中，测量所述流量限制器的温度以及所述流量限制器的上游和下游的气体压力，并且将其与第二查找表结合使用，以确定通过所述流量限制器的气体的流速。

8.根据权利要求7所述的设备，其中，根据所述第一查找表确定的流速与根据所述第二查找表确定的流速的比较被用来检验流量的准确性。

9.根据权利要求7所述的设备，其中，所述流量限制器包含管。

10.根据权利要求7所述的设备，其中，所述流量限制器包括形成于经机械加工的金属块中的通道。

11.一种用于控制气体的流量的设备，包括：

可控制阀；

位于所述可控制阀的上游的热传感器；

控制器，所述控制器存储将所述阀的位置、所述阀的上游的气体压力和通过所述阀的气体的流速相关联的查找表，其中，通过所述热传感器测量的质量流量被发送至所述控制器，并且所述控制器使用质量流量值来更新所述查找表。

12.一种用于控制气体的流量的设备，包括：

控制阀；

位于所述可控制阀的上游的流量限制器；

位于所述流量限制器的上游的第一压力换能器；

位于所述流量限制器的下游和所述控制阀的上游的第二压力换能器；

被设置为测量所述流量限制器处的温度的温度传感器；

包括处理器和存储介质的控制器，所述存储介质包括将在气体流量控制阀的上游测量的所述第一压力换能器的压力、所测量的所述控制阀的位置和通过所述控制阀的流速相关联的第一查找表以及将所述第一压力换能器的上游的压力、所述第二压力换能器的下游的压力、所述温度传感器的温度以及通过所述流量限制器的质量流量相关联的第二查找表。