[发明专利]用于指派集成电路布局中的群约束的系统和方法有效
申请号: | 201680048271.1 | 申请日: | 2016-07-01 |
公开(公告)号: | CN107924135B | 公开(公告)日: | 2019-08-20 |
发明(设计)人: | L·李维利-卡佐 | 申请(专利权)人: | 高通股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G06F17/50 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 杨丽;李小芳 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 指派 集成电路 布局 中的 约束 系统 方法 | ||
1.一种将群约束指派到电路布局中的特征以用于多重图案化工艺的方法,包括:
确定所述电路布局内的特征;
确定对所述特征中的至少一个特征的距离约束;
基于所述距离约束来确定对所述特征的群约束,所述群约束定义对所述特征中的每一特征所能够指派的群的限制;以及
将所述群约束指派到所述特征。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,确定所述距离约束包括确定所述电路布局内的毗邻特征之间的间隔距离。
3.如权利要求2所述的方法,其特征在于,确定所述距离约束包括基于所述特征中的至少两个特征之间的间隔距离是否小于阈值间隔距离来确定所述距离约束。
4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述特征处于所述电路布局的同一层中。
5.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述群中的每一群是不同颜色,每一颜色对应于不同的掩模集。
6.如权利要求1所述的方法,其特征在于,确定所述群约束包括:
确定对所述特征中的至少一个特征的距离约束的数目;以及
将第一群约束指派到所述特征中具有最大数目的距离约束的第一特征;以及
基于指派到第一特征的第一群约束,将附加群约束指派到所述特征中的其他特征。
7.如权利要求6所述的方法,其特征在于,将附加群约束指派到所述特征中的其余特征包括:
基于对所述特征中的第1个特征到第n-1个特征的先前指派的群约束来为所述特征中的第n个特征指派群约束。
8.如权利要求1所述的方法,其特征在于,确定所述群约束包括:
为所述特征中的至少一个特征确定等式,所述等式在逻辑上定义对所述特征中的所述至少一个特征所能够指派的群的限制。
9.一种用于将群约束指派到电路布局中的特征以用于多重图案化工艺的装置,包括:
存储器;以及
耦合到所述存储器的至少一个处理器,所述至少一个处理器被配置成:
确定所述电路布局内的特征;
确定对所述特征中的至少一个特征的距离约束;
基于所述距离约束来确定对所述特征的群约束,所述群约束定义对所述特征中的每一特征所能够指派的群的限制;以及
将所述群约束指派到所述特征。
10.如权利要求9所述的装置,其特征在于,所述至少一个处理器在确定所述群约束时被进一步配置成:
确定对所述特征中的至少一个特征的距离约束的数目;以及
将第一群约束指派到所述特征中具有最大数目的距离约束的第一特征;以及
基于指派到第一特征的第一群约束,将附加群约束指派到所述特征中的其他特征。
11.如权利要求10所述的装置,其特征在于,所述至少一个处理器在将附加群约束指派到其余特征时被进一步配置成:
基于所述特征中的第1个特征到第n-1个特征的先前指派的群约束来为所述特征中的第n个特征指派群约束。
12.如权利要求9所述的装置,其特征在于,所述至少一个处理器在确定所述群约束时被进一步配置成:
为所述特征中的至少一个特征确定等式,所述等式在逻辑上定义对所述特征中的至少一个特征所能够指派的群的限制。
13.一种配置单元的特征的群约束以用于多重图案化工艺的方法,包括:
接收包括多个邻接单元的集成电路布局;
确定所述多个邻接单元中的第一单元的群约束是否与所述多个邻接单元中的第二单元的群约束相冲突,所述第一单元与所述第二单元邻接;以及
基于所述第二单元的群约束以及基于与所述第二单元的群约束相冲突的所述第一单元的群约束来配置所述第一单元的群约束的子集。
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