[发明专利]用于与流体的体积流相互作用的MEMS换能器及其制造方法

权利要求书

1.一种用于与流体的体积流(12)相互作用的MEMS换能器，所述MEMS换能器包括：

基板(14)，所述基板包括腔体(16)；

机电换能器(18；18a-f)，所述机电换能器在所述腔体(16)中连接到所述基板(14)并且包括沿着侧向移动方向(24)可变形的可变形元件(22；22a-f；30；40；150；160)，其中，所述可变形元件(22；22a-f；30；40；150；160)沿着侧向移动方向(24)的变形和所述流体的体积流(12)之间存在因果关系；

其中所述可变形元件(22；22a-f；30；40；150；160)的变形是所述可变形元件相对于所述基板(14)在平面内的弯曲。

2.根据权利要求1所述的MEMS换能器，其中，所述机电换能器(18；18a-f)以力配合或形状配合的方式连接到所述基板(14)。

3.根据权利要求1所述的MEMS换能器，其中，所述可变形元件包括主动式弯曲杆并且构造成接触所述流体的体积流(12)。

4.根据权利要求1所述的MEMS换能器，其中，所述机电换能器(18；18a-f)构造成响应于电驱动(129a)而相应地引起所述腔体(16)中的流体的移动以及/或者响应于所述腔体(16)中的流体的移动而相应地提供电信号(129b)。

5.根据权利要求1所述的MEMS换能器，所述MEMS换能器包括连接到所述基板(14)的第一机电换能器和第二机电换能器(18b-e)，并且每个换能器包括沿着侧向移动方向(24)可变形的可变形元件(22；22a-f；30；40；150；160)，所述可变形元件构造成适于沿着所述侧向移动方向(24)变形，其中，所述第一机电换能器(18b、18d)和所述第二机电换能器(18c、18e)构造成在第一时间间隔期间彼此相向移动并且在第二时间间隔期间彼此相离地移动，其中，所述第一机电换能器(18b、18d)和所述第二机电换能器(18c、18e)之间的子腔体(42a、42b)的容积在所述第一时间间隔和第二时间间隔之间是可变的。

6.根据权利要求1所述的MEMS换能器，所述MEMS换能器包括连接到所述基板(14)的多个机电换能器(18；18a-f)，并且每个机电换能器包括沿着侧向移动方向(24)可变形的可变形元件(22；22a-f；30；40；150；160)；

其中，在第一机电换能器(18b、18d)和第二机电换能器(18c、18e)之间布置有第一子腔体(42a、42b)，并且在所述第二机电换能器(18b、18d)和第三机电换能器(18a、18c)之间布置有第二子腔体(38a、38b)。

7.根据权利要求6所述的MEMS换能器，其中，所述第一机电换能器、第二机电换能器和第三机电换能器(18a、18b、18c)构造成响应于电驱动(129a)而相应地引起所述腔体(16)中的流体的移动，并且其中，所述第一机电换能器和所述第二机电换能器(18b、18d)构造成以第一频率改变所述第一子腔体的容积，其中，所述第一机电换能器(18b、18d)和所述第三机电换能器(18a、18c)构造成以第二频率改变所述第二子腔体的容积。

8.根据权利要求6所述的MEMS换能器，其中，所述第一子腔体和所述第二子腔体包括彼此不同的谐振频率。

9.根据权利要求8所述的MEMS换能器，其中，所述第一机电换能器和所述第二机电换能器(18b、18d)构造成以第一频率改变所述第一子腔体的容积，其中，所述第一机电换能器(18b、18d)和所述第三机电换能器(18a、18c)构造成以第二频率改变所述第二子腔体的容积。

10.根据权利要求6所述的MEMS换能器，其中，所述体积流(12)及所述可变形元件(22；22a-f；30；40；150；160)的变形与所述第一子腔体(42a、42b)及所述第二子腔体(38a、38b)的容积的变化之间存在因果关系。