[发明专利]射频(RF)阻抗调谐操作的监控

权利要求书

1.一种射频(RF)控制系统，包括：

RF生成器，所述RF生成器包括以可调整的目标频率输出RF信号的功率放大器，所述RF生成器还包括控制器，所述控制器改变所述RF信号的所述频率；以及

接收所述RF信号的匹配网络，所述匹配网络包括至少一个阻抗调谐元件，所述阻抗调谐元件根据从所述控制器传递的命令可调整，

其中在当所述RF信号在第一目标频率处时的第一操作模式中，所述控制器能够既关于所述目标频率调整所述RF信号的所述频率又调整所述调谐元件，以改变阻抗匹配，并且在当所述RF信号正在调整至第二目标频率时的第二操作模式中，所述控制器抑制对所述RF信号的所述频率的关于所述目标频率的调整以改变阻抗匹配，并且能够调整所述阻抗调谐元件以改变阻抗匹配。

2.根据权利要求1所述的射频(RF)控制系统，其中在所述第一操作模式中，所述控制器能够调整所述频率和所述调谐元件，以改变所述RF生成器与负载之间的所述阻抗匹配，并且在所述第二操作模式中，所述控制器能够调整所述阻抗调谐元件以提供所述RF生成器与所述负载之间的阻抗匹配。

3.根据权利要求1所述的射频(RF)控制系统，其中所述调谐元件包括负载元件和调节元件，并且在所述第一操作模式中和在所述第二操作模式中，所述控制器调整所述负载元件和所述调节元件中的至少一个。

4.根据权利要求3所述的射频(RF)控制系统，其中在所述第一操作模式中，所述控制器调整所述频率以及所述负载元件和所述调节元件中的至少一个，以提供所述RF生成器与负载之间的阻抗匹配，并且在所述第二操作模式中，所述控制器调整所述负载元件和所述调节元件中的至少一个，以提供所述RF生成器与所述负载之间的阻抗匹配，并且将所述频率调整至目标频率。

5.根据权利要求1所述的射频(RF)控制系统，其中在所述第一操作模式中，所述频率在关于目标频率的预定范围内被调整。

6.根据权利要求5所述的射频(RF)控制系统，其中在所述第二操作模式中，所述控制器将所述频率从所述第一目标频率调整至所述第二目标频率。

7.根据权利要求6所述的射频(RF)控制系统，其中在所述第二操作模式中，所述控制器调整所述频率而不考虑阻抗匹配条件。

8.根据权利要求1所述的射频(RF)控制系统，其中在所述第二操作模式中，所述控制器将所述频率从所述第一目标频率调整至所述第二目标频率。

9.根据权利要求8所述的射频(RF)控制系统，其中在所述第二操作模式中，所述控制器调整所述频率而不考虑阻抗匹配条件。

10.根据权利要求1所述的射频(RF)控制系统，其中所述匹配网络将指示相应RF输出信号的特性的特性信号传送至所述RF生成器。

11.根据权利要求1所述的射频(RF)控制系统，其中所述RF生成器以连续波模式或脉冲模式操作。

12.一种射频(RF)控制系统，包括：

RF生成器，所述RF生成器包括输出具有调整目标频率的RF信号的功率放大器，所述RF生成器输出所述RF信号至匹配网络，所述匹配网络接收所述RF信号，所述匹配网络包括阻抗调谐元件；以及

控制器，所述控制器改变所述RF信号的频率并将命令传递至所述匹配网络，以调整所述阻抗调谐元件，

其中在当所述RF信号在第一目标频率处时的第一操作模式中，所述控制器既关于所述目标频率调整所述RF信号的所述频率又调整所述调谐元件，以改变所述RF生成器与负载之间的阻抗，并且在当所述RF信号正在调整至第二目标频率时的第二操作模式中，所述控制器在仅调整所述调谐元件以改变所述阻抗的同时，将所述RF信号的所述频率调整至所述第二目标频率。