[发明专利]弹性波装置

说明书

本发明提供一种利用了板波的S0模式的弹性波装置，其中，即使电极膜厚变化，也不易产生声速、频率特性的偏差。在压电薄膜(5)的第一主面(5a)上设置有具有多根电极指的IDT电极(6)。在压电薄膜(5)的第二主面(5b)上设置有导电层(8)。在弹性波装置(1)中，在压电薄膜(5)中传播的弹性波为板波的S0模式，处于所述IDT电极(6)的电极指间下方的区域的压电薄膜(5)部分比电极指以及处于电极指下方的区域的压电薄膜(5)部分变化得大。

技术领域

本发明涉及利用了板波的S0模式的弹性波装置。

背景技术

提出了各种使用压电薄膜并利用了板波的弹性波装置。例如，在下述的专利文献1公开了作为高声速的板波而利用了板波的A1模式、S0模式的弹性波装置。在专利文献1记载的弹性波装置中，在支承基板上设置有声反射层。在声反射层上，层叠有压电薄膜。在压电薄膜的上表面，设置有IDT电极。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：WO2012/086441 A1

发明内容

发明要解决的课题

在专利文献1记载的弹性波装置中，通过使用板波，从而与声表面波相比，能够实现高声速化、宽带化以及阻抗比的增大等。

然而，本申请的发明人们发现了如下的新的课题，即，在利用板波的S0模式的弹性波装置中，根据IDT电极的膜厚，声速、频率特性的偏差会变大。

本发明的目的在于，提供一种如下的弹性波装置，即，在利用了板波的S0模式的弹性波装置中，即使电极膜厚变化，也不易产生声速、频率特性的偏差。

用于解决课题的技术方案

本申请的第一发明涉及的弹性波装置具备：压电薄膜，具有第一主面和与所述第一主面对置的第二主面；IDT电极，设置在所述压电薄膜的所述第一主面上，并具有多根电极指；以及导电层，设置在所述压电薄膜的所述第二主面上，在所述压电薄膜中传播的弹性波为板波的S0模式，处于所述IDT电极的电极指间下方的区域的压电薄膜部分的位移大于所述电极指以及处于所述电极指下方的区域的压电薄膜部分。

在本申请的第一发明涉及的弹性波装置中，优选地，所述IDT电极的厚度变化了一个波长的情况下的声速的变化为9300m/秒以下。

在本申请的第一发明涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，在所述IDT电极的厚度变化了一个波长的情况下，所述声速的变化为1000m/秒以下。

在本申请的第一发明涉及的弹性波装置的又一个特定的局面中，在所述压电薄膜的欧拉角中，处于0°±20°的范围内，θ处于75°以上且145°以下的范围内，ψ处于0°±10°的范围内。

本申请的第二发明涉及的弹性波装置具备：压电薄膜，具有第一主面和与所述第一主面对置的第二主面；IDT电极，设置在所述压电薄膜的所述第一主面上，并具有多根电极指；以及导电层，设置在所述压电薄膜的所述第二主面上，在所述压电薄膜中传播的弹性波为板波的S0模式，所述IDT电极的厚度变化了一个波长的情况下的声速的变化为9300m/秒以下。

在第二发明涉及的弹性波装置中，优选地，在所述IDT电极的厚度变化了一个波长的情况下，所述声速的变化为1000m/秒以下。

在本申请的第二发明涉及的弹性波装置涉及的某个特定的局面中，在所述压电薄膜的欧拉角中，处于0°±20°的范围内，θ处于75°以上且145°以下的范围内，以及ψ处于0°±10°的范围内。