[发明专利]在挠性基料中连续制造特征的方法和与此相关的产品

权利要求书

1.一种在基料中制造特征的方法，所述方法包括：

使所述基料从第一卷材前进；

使所述基料前进通过包含激光的激光处理组装件；

使用所述激光在所述基料中生成多个缺陷；

使所述基料前进通过蚀刻组装件；

在所述蚀刻组装件处对所述基料进行蚀刻，以除去所述多个缺陷处的材料，从而在所述基料中形成多个特征；以及

将所述基料卷绕成最终卷材。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基料包括玻璃基料、玻璃-陶瓷基料或陶瓷基料。

3.如权利要求1或2所述的方法，其特征在于，还包括在使所述基料前进通过所述蚀刻组装件之前，将所述基料卷绕成中间卷材。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，还包括使所述基料从所述中间卷材向所述蚀刻组装件前进。

5.如权利要求3所述的方法，其特征在于，还包括在使所述基料前进通过所述激光处理组装件之后，将所述基料与一个或更多个附加基料以及一个或更多个插入层卷绕在一起，所述附加基料具有形成于其中的多个缺陷，且所述插入层设置在相邻基料之间，从而形成第三中间卷材。

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，还包括使所述基料、所述一个或更多个插入层以及所述一个或更多个附加基料向所述蚀刻组装件前进。

7.如权利要求1～6中任一项所述的方法，其特征在于，使所述基料从所述激光处理组装件直接向所述蚀刻组装件前进。

8.如权利要求1～7中任一项所述的方法，其特征在于，还包括使所述第一卷材和所述最终卷材连续旋转，以使所述基料前进。

9.如权利要求1～8中任一项所述的方法，其特征在于，所述第一卷材包含至少一个附加基料。

10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述第一卷材还包含至少一个设置在所述基料与所述至少一个附加基料之间的插入层。

11.如权利要求1～10中任一项所述的方法，其特征在于，还包括在将所述基料卷绕成所述最终卷材之前，使所述基料前进通过一个或更多个附加处理组装件。

12.如权利要求11所述的方法，其特征在于，使所述基料前进通过一个或更多个附加处理组装件包括将一个或更多个涂层施涂在所述基料上。

13.如权利要求12所述的方法，其特征在于，所述一个或更多个涂层包含介电材料。

14.如权利要求1～13中任一项所述的方法，其特征在于，所述基料具有小于300μm的厚度。

15.如权利要求1～14中任一项所述的方法，其特征在于，使用所述激光在所述基料中生成所述多个缺陷包括：

将激光束脉冲并聚焦成激光束焦线，所述激光束焦线沿光束传播方向取向且被导入所述基料中，所述激光束焦线在所述基料中产生感应吸收，所述感应吸收在所述基料中沿着所述激光束焦线生成缺陷线形式的缺陷；以及

使所述基料与所述激光束相对于彼此平移，从而形成所述多个缺陷。

16.如权利要求1～15中任一项所述的方法，其特征在于，所述蚀刻组装件包含多个蚀刻区域。

17.如权利要求1～16中任一项所述的方法，其特征在于，所述蚀刻组装件配置成通过以下蚀刻工艺中的一种或更多种来对所述基料进行蚀刻：喷淋蚀刻、水性蚀刻或干法蚀刻。

18.一种在玻璃基料中制造特征的方法，所述方法包括：

使所述玻璃基料从第一卷材连续前进通过包含激光的激光处理组装件；以及

在所述激光处理组装件处使用所述激光在所述玻璃基料中生成多个缺陷。

19.如权利要求18所述的方法，还包括：

使所述玻璃基料向最终卷材组装件连续前进；以及

在所述最终卷材组装件处将所述玻璃基料和毗邻所述玻璃基料的插入层卷绕成最终卷材。

20.如权利要求19所述的方法，其特征在于，还包括在将所述玻璃基料卷绕成所述最终卷材的同时，对所述最终卷材进行蚀刻。