[发明专利]从金属板上除去抗蚀剂膜的方法及经蚀刻的金属板的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及从金属板上除去抗蚀剂膜的方法以及经蚀刻的金属板的制造方法。

背景技术

对表面进行蚀刻而设有凹凸的形状的金属板用于电梯门材料等要求高度美观的用途等中。利用氯化铁(III)水溶液等对金属具有腐蚀性的液体(以下，也称作“蚀刻液”)来腐蚀金属，在金属板的表面形成凹部，从而进行金属板的蚀刻。这时，在金属板的表面形成对蚀刻液具有耐受性的膜(以下，也称作“抗蚀剂膜”)，来保护形成有该膜的区域不受蚀刻液的腐蚀而保持原状，从而形成凸部。由此，在金属板的表面形成凹凸的形状。具体而言，按照以下顺序进行金属板的表面的蚀刻：(1)在金属板的表面上的要形成凸部的区域形成抗蚀剂膜；(2)利用蚀刻液对未形成抗蚀剂膜的区域进行腐蚀；(3)从未形成抗蚀剂膜的区域受到了腐蚀的金属板上除去抗蚀剂膜。

以往，按照以下顺序进行抗蚀剂膜的形成：(1-1)在金属板的表面涂覆感光性树脂；(1-2)仅在要形成凸部的区域将使光透射的负片密接到涂覆有感光性树脂的金属板上；(1-3)从负片之上对金属板照射光，仅使经曝光的感光性树脂固化；(1-4)除去未曝光而未固化的感光性树脂。近年来，有时也通过喷墨法形成抗蚀剂膜。在利用喷墨法的形成过程中，按照以下顺序进行抗蚀剂膜的形成：(1-1’)从喷墨头喷出包含所述感光性树脂的组合物，使感光性树脂着落于金属板的表面的要形成凸部的区域，(1-2’)对着落的感光性树脂照射活性能量射线以使其固化。

这时，要求包含固化后的感光性树脂(以下，也称作“树脂固化物”)的抗蚀剂膜对金属板的表面具有充分的密接性。若对金属板的表面的密接性较低，则有时抗蚀剂膜从金属板的表面局部地剥落。若蚀刻液向该局部地剥落后的抗蚀剂膜与金属板的表面之间的界面侵入，则在形成有抗蚀剂膜的区域内金属也会受到腐蚀。

相对于此，已知，由含有在分子内包含磷酸酯基的化合物的固化性组合物固化而成的抗蚀剂膜与金属板的密接性较高(例如，专利文献1～3)。

另外，对包含树脂固化物的抗蚀剂膜要求：针对蚀刻液的充分的耐受性(以下，也称作“蚀刻液耐受性”)、以及相对于含有苛性碱成分的抗蚀剂除去液的充分的溶解性(以下，也称作“碱溶解性”)。

相对于此，已知，由包含在分子内具有羧基及(甲基)丙烯酰基的化合物的固化性组合物固化而成的抗蚀剂膜的蚀刻液耐受性及碱溶解性较高(例如，专利文献4～6)。

在利用蚀刻液腐蚀金属板之后，从金属板上除去抗蚀剂膜。以往，将构成抗蚀剂膜的树脂固化物溶解在含有苛性碱成分的抗蚀剂除去液中，来除去抗蚀剂膜(例如，专利文献7)。使这样的抗蚀剂除去液进行液体循环，以重复地使用于从多个金属板上除去抗蚀剂膜的工序中。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-235272号公报

专利文献2：日本特开2010-53177号公报

专利文献3：日本特开2010-229378号公报

专利文献4：日本特开平5-100423号公报

专利文献5：日本特开平7-76663号公报

专利文献6：日本特开2002-129079号公报

专利文献7：日本特开平9-265180号公报

发明内容

发明要解决的问题

例如专利文献1～6中公开的、使用固化性组合物形成的抗蚀剂膜包含具有磷酸酯基或羧基的树脂固化物。该树脂固化物分解成具有磷酸酯基的化合物或具有羧基的化合物，在含有苛性碱成分的抗蚀剂除去液中溶解。

对于这样溶解后的具有磷酸酯基的化合物或具有羧基的化合物，在每次重复使用抗蚀剂液时在抗蚀剂液中逐渐累积。由此，抗蚀剂除去液中的苛性碱成分的浓度相对降低，因此随着重复次数变多，抗蚀剂除去液的除去抗蚀剂膜的性能(以下，也称作“除去性”)逐渐降低。

另外，对于在抗蚀剂除去液中溶解的这些化合物，在分子内具有来源于通过感光性树脂的聚合而生成的烃链的亲油性的部分、以及来源于磷酸酯基或羧基的亲水性的部分这两者，所以与表面活性剂同样地具有起泡的性质。若在抗蚀剂除去液中溶解的这些化合物起泡，则抗蚀剂除去液与抗蚀剂膜的接触被泡沫妨碍，因而抗蚀剂除去液的除去性进一步降低。

根据上述的主要因素，抗蚀剂除去液的除去性随着重复的次数变多而逐渐降低。因此，需要定期地更换抗蚀剂除去液。从削减在金属板的蚀刻中花费的工夫及成本的观点来看，期望抑制抗蚀剂除去液的除去性的降低，从而增长液体寿命。