[发明专利]用于向基材的表面提供涂覆层的设备和方法

权利要求书

1.一种用于向基材(1)的表面(1a)提供涂覆层的设备，所述设备包括：

-至少一个原子层沉积方法-涂覆单元(2)，在所述至少一个原子层沉积方法-涂覆单元中，根据原子层沉积原理，使至少第一前驱体和第二前驱体在所述基材(1)的所述表面(1a)上进行连续表面反应，以便涂覆所述基材(1)的所述表面(1a)；

-第一卷筒(3)，所述第一卷筒用于解绕待涂覆的所述基材(1)；

-第二卷筒(4)，所述第二卷筒用于重新卷绕已涂覆的所述基材(1)；

-一个或多个主支撑结构(5)，所述一个或多个主支撑结构设置成与待涂覆的所述表面(1a)或已涂覆的所述表面(1a)位于所述基材(1)的同一侧，用于形成从所述第一卷筒(3)经所述至少一个主支撑结构(5)到所述第二卷筒(4)的基材输送路径；

-交错网状物(6)，所述交错网状物(6)与所述一个或多个主支撑结构(5)中的每一者相关，所述交错网状物(6)设置为在所述基材(1)通过所述一个或多个主支撑结构(5)时保护待涂覆的所述表面(1a)或已涂覆的所述表面(1a)，所述交错网状物(6)设置为沿着所述基材输送路径的至少一部分与所述基材(1)一起移动，所述交错网状物(6)设置于所述一个或多个主支撑结构(5)中的每一者与待涂覆的所述表面(1a)或已涂覆的所述表面(1a)之间，使得待涂覆的所述表面(1a)或已涂覆的所述表面(1a)设置为沿着从所述第一卷筒(3)到所述第二卷筒(4)的所述基材输送路径仅与所述交错网状物(6)接触；以及

-一个或多个主交错解绕卷筒(7)，所述一个或多个主交错解绕卷筒(7)包含所述交错网状物(6)并用于解绕所述交错网状物(6)，所述一个或多个主交错解绕卷筒(7)设置为使得所述交错网状物(6)在第一个所述主支撑结构(5)之前或在第一个所述主支撑结构(5)处与自所述第一卷筒(3)供应的所述基材(1)置于一起，在所述主支撑结构(5)处，所述交错网状物(6)设置于待涂覆的所述表面(1a)和所述主支撑结构(5)之间。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述交错网状物(6)设置为在使所述交错网状物于所述涂覆单元(2)之前与所述基材(1)分离之前保护待涂覆的所述表面(1a)，或者所述交错网状物(6)设置为在所述涂覆单元(2)之后保护已涂覆的所述表面(1a)。

3.根据权利要求2所述的设备，其特征在于，利用分离元件(17)来设置与所述基材(1)的所述分离，所述分离元件(17)设置于位于所述涂覆单元(2)之前的最后的所述主支撑结构(5)之后。

4.根据权利要求3所述的设备，其特征在于，所述分离元件(17)是辊筒。

5.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述设备还包括一个或多个主交错重绕卷筒(8)，所述一个或多个主交错重绕卷筒用于在所述交错网状物于所述涂覆单元(2)之前与所述基材(1)分离之后重新卷绕所述交错网状物(6)。

6.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述设备还包括一个或多个辅助交错解绕卷筒(9)，所述一个或多个辅助交错解绕卷筒(9)包含所述交错网状物(6)并用于解绕所述交错网状物(6)，所述一个或多个辅助交错解绕卷筒(9)设置为使得所述交错网状物(6)与所述基材(1)在所述涂覆单元(2)之后并且在位于所述涂覆单元(2)之后的第一个所述主支撑结构(5)之前或在位于所述涂覆单元(2)之后的第一个所述主支撑结构(5)处置于一起。

7.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述设备包括一个或多个辅助交错重绕卷筒(10)，所述一个或多个辅助交错重绕卷筒用于在所述交错网状物于所述涂覆单元(2)之后与所述基材(1)分离之后重新卷绕所述交错网状物(6)。

8.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述第二卷筒(4)设置为重新卷绕已涂覆的所述基材(1)和所述交错网状物(6)二者。