[发明专利]测量仪器用晶片定心装置

权利要求书

1.一种测量仪器用晶片定心装置，其中，包括：

本体单元；

引导单元，具备安装在所述本体单元上并用于支撑晶片的支撑部与通孔；以及

移位单元，具备推动器，推动器在所述通孔内移动使得将所述晶片在所述支撑部上移动。

2.根据权利要求1所述的测量仪器用晶片定心装置，其中，所述引导单元还包括安装部，所述安装部连接到所述支撑部并且具有高于所述支撑部的表面，所述通孔形成在所述安装部上。

3.根据权利要求2所述的测量仪器用晶片定心装置，其中，所述通孔从所述安装部延伸至所述支撑部。

4.根据权利要求1所述的测量仪器用晶片定心装置，其中，所述移位单元包括：

致动器，连接到所述推动器用于移动所述推动器；以及

返回构件，使所述致动器相对于所述本体单元弹性地支撑，使得所述致动器动作后返回到初始位置。

5.根据权利要求4所述的测量仪器用晶片定心装置，其中，所述本体单元包括：

驱动空间，用于流入空气；

从动空间，位于所述驱动空间的相反侧，并且位有所述推动器；以及

连接空间，用于连通所述驱动空间和所述从动空间，并具有小于所述驱动空间及所述从动空间的截面积。

6.根据权利要求5所述的测量仪器用晶片定心装置，其中，所述返回构件包括弹簧，弹簧位于所述驱动空间中并且支撑在限定所述连接空间的壁上。

7.根据权利要求5所述的测量仪器用晶片定心装置，其中，所述致动器包括：

从动块，连接到所述推动器并定位在所述从动空间中；以及

轴承，用于支撑所述从动块。

8.根据权利要求7所述的测量仪器用晶片定心装置，其中，所述本体单元还包括容纳槽，所述容纳槽形成在限定所述从动空间的内周面用于容纳所述轴承。

9.根据权利要求7所述的测量仪器用晶片定心装置，其中，所述致动器包括：

气缸，配置在所述驱动空间；

活塞，配置在所述气缸内并通过所述空气在所述气缸内移动；以及

杆，用于连接所述活塞及所述从动块。

10.根据权利要求2所述的测量仪器用晶片定心装置，其中，所述本体单元包括：

支撑部，用于支撑所述安装部；以及

限制壁，从所述支撑部的周边突出用于限制所述安装部的移动路径。

11.根据权利要求10所述的测量仪器用晶片定心装置，其中，所述限制壁包括沿着所述安装部的移动方向延伸的长孔形状的紧固孔，所述安装部包括紧固在所述紧固孔并用于插入紧固片的通孔。

12.根据权利要求1所述的测量仪器用晶片定心装置，其中，所述本体单元包括：

安装架，安装在对象物体上并具有滑动部；以及

轨道，用于可移动地容纳所述滑动部。