[发明专利]压电装置、液体喷射头、液体喷射设备及压电装置的制造方法

权利要求书

1.一种压电装置，包括：

基板，所述基板上设置有多个凹部；

振动板，其设置在所述基板的一个表面侧；以及

压电元件，其设置在所述振动板上方，并且在所述压电元件上自基板侧层叠有第一电极、压电层和第二电极，

其中所述第一电极形成为具有第一宽度，所述第一宽度在至少一个凹部的并排设置方向上比所述凹部在所述并排设置方向上的尺寸小，并且所述压电层延伸到所述第一电极的在所述并排设置方向上的外侧，并且所述压电层具有第二宽度，所述第二宽度比所述第一宽度大且比所述凹部在所述并排设置方向上的宽度小，

所述振动板含有在第一电极侧的所述振动板的表面上的氧化锆层，并且

当所述氧化锆层的与具有所述第一宽度的所述第一电极相对应的区域被设定为第一区域，所述氧化锆层的与所述压电层设置在所述第一区域的在所述并排设置方向的外侧的区域相对应的区域被设定为第二区域，并且所述氧化锆层的与在所述第二区域的所述并排设置方向的外侧的凹部相对应的区域被设定为第三区域时，

其中，所述第一区域中的所述氧化锆层在厚度方向的至少所述第一电极侧含有粒状晶体，并且

其中，所述第三区域中的所述氧化锆层含有柱状晶体。

2.根据权利要求1所述的压电装置，其中所述第二区域中的所述氧化锆层含有粒状晶体。

3.根据权利要求1或2所述的压电装置，其中所述氧化锆层至少在所述第一区域中，包括设置在所述厚度方向的所述第一电极侧的含有粒状晶体的第一层以及设置在所述基板侧的含有柱状晶体的第二层。

4.根据权利要求1或2所述的压电装置，其中所述氧化锆层的在所述第一区域中的厚度大于在所述第三区域中的厚度。

5.根据权利要求1或2所述的压电装置，其中所述氧化锆层含有钇。

6.一种液体喷射头，包括：

根据权利要求1或2所述的压电装置；和

与凹部连通以喷射液体的喷嘴口。

7.一种液体喷射设备，包括根据权利要求6所述的液体喷射头。

8.一种压电装置的制造方法，所述压电装置包括：

基板，所述基板上设置有多个凹部；

振动板，其设置在所述基板的一个表面侧；以及

压电元件，其设置在所述振动板上方，并且在所述压电元件上自基板侧层叠有第一电极、压电层以及第二电极，

其中所述第一电极形成为具有第一宽度，所述第一宽度在至少一个凹部的并排设置方向上比所述凹部在所述并排设置方向的尺寸小，并且所述压电层延伸到所述第一电极的在所述并排设置方向上的外侧，并且所述压电层具有第二宽度，所述第二宽度比所述第一宽度大且比所述凹部在所述并排设置方向上的宽度小，

所述振动板含有在第一电极侧的所述振动板的表面上的氧化锆层，并且

当氧化锆层的与具有所述第一宽度的所述第一电极相对应的区域被设定为第一区域，所述氧化锆层的与所述压电层设置在所述第一区域的在所述并排设置方向的外侧的区域相对应的区域被设定为第二区域，并且所述氧化锆层的与在所述第二区域的所述并排设置方向的外侧的凹部相对应的区域被设定为第三区域时，

其中，所述第一区域中的所述氧化锆层在厚度方向的至少所述第一电极侧含有粒状晶体，并且

其中，所述第三区域中的所述氧化锆层含有柱状晶体，

所述方法包括：

通过使用液相法形成所述氧化锆层的含有粒状晶体的一部分；和

通过氧化使用气相法形成的锆层来形成所述氧化锆层的含有柱状晶体的一部分。