[发明专利]流体供应组件

权利要求书

1.一种包括流体供应容器的压力调节式流体供应组件，所述流体供应容器耦合到阀头且经布置以分配压力受控气体，其中可调气体压力控制装置及分配控制组合件被安置在所述流体供应容器的内部容积中，所述分配控制组合件包括：控制器，所述控制器经配置以响应于输入的控制信号而调整所述可调气体压力控制装置；可再充电式电源供应器，所述可再充电式电源供应器经配置以对所述控制器供电；及内部磁性驱动器，所述内部磁性驱动器经配置以响应于与外部磁性驱动器的交互作用而产生电能来对所述可再充电式电源供应器充电。

2.根据权利要求1所述的压力调节式流体供应组件，其中所述可调气体压力控制装置包括可调设定点压力调节器，所述可调设定点压力调节器经布置使得来自所述流体供应容器的气体流过所述压力调节器且流向所述阀头以用于分配。

3.根据权利要求1所述的压力调节式流体供应组件，其与外部磁性驱动器组合件结合。

4.根据权利要求1所述的压力调节式流体供应组件，其中所述控制器包括微处理器，所述微处理器经配置以通过来自所述内部磁性驱动器的信息的输入而接收气体压力控制装置调整指令，所述信息通过与所述外部磁性驱动器的交互作用而产生。

5.一种包含压力调节式隔室的流体供应组件，所述压力调节式隔室与单一流体供应容器的吸附剂式隔室流体连通，所述单一流体供应容器与阀头耦合，所述阀头用于以预定压力分配来自所述吸附剂式隔室的流体，其中所述压力调节式隔室中包含一或多个压力调节器，所述一或多个压力调节器经配置使得其调节器与所述吸附剂式隔室直接流动连通。

6.根据权利要求5所述的流体供应组件，其中所述单一流体供应容器包括其所述隔室中的每一者的封围壁及底板构件，其中所述压力调节式隔室的所述壁及底板构件的厚度相对于所述吸附剂式隔室的所述壁及底板构件有所增加。

7.一种包括流体供应容器的流体供应组件，所述流体供应容器容纳设置在内部的流体分配棒组合件，所述流体分配棒组合件包含至少一个压力调节器，在所述至少一个压力调节器的上游为止回阀，其中所述至少一个压力调节器及止回阀经配置以使得所述流体分配棒组合件以每分钟2到35标准公升的范围的流速来分配来自所述流体供应容器的气体。

8.根据权利要求7所述的流体供应组件，其中所述流体供应容器具有在10到60L的范围内的流体存储容积。

9.根据权利要求7所述的流体供应组件，其中所述流体分配棒组合件包含两个压力调节器，所述两个压力调节器中的每一者的上游为所述流体分配棒组合件中的止回阀。

10.根据权利要求7所述的流体供应组件，其中所述流体分配棒组合件经配置以可从所述流体供应容器单一地移除。

11.一种包含流体的多个子组件的流体供应组件，从所述多个子组件输送相应流体，以在所述组件中混合且从所述组件分配流体混合物，其中在混合歧管中或利用专用混合腔室来实行所述混合，所述流体混合物从所述混合歧管或混合腔室行进到所述流体供应组件的分配阀以用于分配使用。

12.根据权利要求11所述的流体供应组件，其中所述子组件被安置在所述流体供应组件的壳体中，且其中来自所述壳体中的相应子组件的流体的流速由子组件分配管线来控制，所述子组件分配管线容纳由气动阀致动器控制的阀，所述气动阀致动器经配置以接收来自所述流体供应组件外部的来源的流体控制气体。

13.根据权利要求11所述的流体供应组件，其包括容纳四氟化锗的第一子组件及容纳氢的第二子组件。

14.根据权利要求11所述的流体供应组件，其包括流量控制装置，所述流量控制装置经配置以调节提供用于所述混合的所述流体的相对比例。