[发明专利]观察装置

权利要求书

1.一种观察装置，具备成像光学系统，该成像光学系统用于使来自物体表面的反射光的光束成像于受光面，所述观察装置的特征在于，

所述成像光学系统包括凹面主镜、凸面副镜以及抽出式平面镜，并由等倍反射式成像光学系统构成，该等倍反射式成像光学系统能够使来自所述物体表面的反射光的光束按照所述凹面主镜、所述凸面副镜、所述凹面主镜的顺序反射之后，经由所述抽出式平面镜而成像于所述受光面，

所述凸面副镜为背面镜。

2.根据权利要求1所述的观察装置，其特征在于，

所述凸面副镜的表面的曲率与背面的曲率不同。

3.根据权利要求1或2所述的观察装置，其特征在于，

所述凸面副镜的表面的曲率小于所述凸面副镜的背面的曲率。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的观察装置，

在从所述物体表面起至所述受光面为止的光路上配置有至少一个光学元件，该光学元件具有平行的平面。

5.根据权利要求1～4中的任一项所述的观察装置，其特征在于，

所述观察装置为椭圆偏振计。