[发明专利]基板移载装置

权利要求书

1.一种基板移载装置，具备：

壳体，所述壳体当将某一水平方向规定为第一方向，而将与该第一方向正交的水平方向规定为第二方向时，与所述第一方向的尺寸相比，所述第二方向的尺寸较大，且具有搬送室、及形成配置于所述搬送室的所述第一方向的至少一侧的至少一个开口的壁；和

基板搬送机器人，具有配置于所述搬送室的基台、支持于所述基台且由至少一根连杆构成的机械臂、与所述机械臂的手腕部连结且能保持基板的机械手、和控制所述机械臂及所述机械手的动作的控制器；

当将从所述搬送室除去规定的排他区域的空间规定为有效搬送室时，所述至少一根连杆的连杆全长小于所述搬送室的所述第一方向的尺寸，且所述机械手的手全长为所述有效搬送室的所述第一方向的尺寸以上；

所述机械手的手全长大于所述搬送室的所述第一方向的尺寸。

2.根据权利要求1所述的基板移载装置，其特征在于，所述至少一根连杆的连杆全长小于所述有效搬送室的所述第一方向的尺寸。

3.根据权利要求1所述的基板移载装置，其特征在于，还具备开闭操作所述开口的装载端口，

所述规定的排他区域是所述装载端口在藉由该装载端口与所述搬送室连通的基板载体的开闭操作时利用的区域。

4.根据权利要求1所述的基板移载装置，其特征在于，

所述控制器以如下形式控制所述机械臂：所述机械手当整体位于所述搬送室内时，为所述机械手的手长度方向相对于所述第一方向倾斜的姿势，当梢端部分从所述开口进出时，为所述手长度方向与所述第一方向平行的姿势。

5.根据权利要求1所述的基板移载装置，其特征在于，

所述机械手具有：基准部分，连结于所述机械臂的手腕部；可动部分，以能相对于所述基准部分相对位移的形式连结；和移动机构，使所述可动部分相对于所述基准部分位移。

6.根据权利要求5所述的基板移载装置，其特征在于，

所述机械手具有：手基部，连结于所述机械臂的手腕部；和叶片，与所述手基部连结且保持所述基板；

所述基准部分由所述手基部的一部分构成，所述可动部分由所述手基部的剩余部分和所述叶片构成。

7.根据权利要求5所述的基板移载装置，其特征在于，

所述机械手具有：手基部，连结于所述机械臂的手腕部；和叶片，与所述手基部连结且保持所述基板；

所述基准部分由所述手基部构成，所述可动部分由所述叶片构成。

8.根据权利要求5至7中任意一项所述的基板移载装置，其特征在于，

所述可动部分能够相对于所述基准部分向所述机械手的长度方向进退位移地与所述基准部分连结。

9.根据权利要求5至7中任意一项所述的基板移载装置，其特征在于，

所述可动部分能够相对于所述基准部分实质上向垂直方向转动位移地与所述基准部分连结。

10.根据权利要求5至7中任意一项所述的基板移载装置，其特征在于，

所述可动部分能够相对于所述基准部分实质上向水平方向转动位移地与所述基准部分连结。

11.根据权利要求5所述的基板移载装置，其特征在于，

所述机械手还具有至少一个光传感器，

所述光传感器具有：投光部及受光部，配置于所述可动部分；放大器单元，配置于所述基准部分；光纤，所述光纤将所述投光部与所述放大器单元之间及所述受光部与所述放大器单元之间分别结合，该光纤中的至少一根具有由配置于所述基准部分的第一中断端部和配置于所述可动部分的第二中断端部构成的一对中断端部；以及透镜单元，将所述第一中断端部与所述第二中断端部之间光学地结合。

12.根据权利要求11所述的基板移载装置，其特征在于，

所述透镜单元包含设置于所述光纤的所述一对中断端部中的投光侧的准直透镜、和设置于受光侧的聚光透镜。