[发明专利]高分子化合物及制造方法、树脂组合物、膜、固体摄像器件及制造方法、及光学设备

说明书

本发明提供能制造干式蚀刻后的表面的粗糙度良好、且为高折射率、高透明的膜的高分子化合物及使用其的固体摄像器件、光学设备、高分子化合物的制造方法及固体摄像器件的制造方法。本发明的高分子化合物是至少将(A)含有2个以上具有羟基或烷氧基的多环芳香族基团的化合物、及(B)含有2个以上通式(1)的结构的杂环式芳香族化合物进行缩聚而得到的。(通式(1)中，R¹表示氢原子或碳原子数1～6的有机基团。)。

技术领域

本发明涉及高分子化合物、树脂组合物、膜、固体摄像器件、高分子化合物的制造方法、固体摄像器件的制造方法、及光学设备。

背景技术

近年来，伴随数码相机、智能手机等的迅速发展，要求固体摄像器件的小型化、高像素化。固体摄像器件的小型化会导致敏感度降低，因此，通过将内部透镜配置于受光部与滤色器之间、将微透镜配置于滤色器上部、在受光部与滤色器之间形成波导、在滤色器之间形成白色像素(white pixel)等，从而可有效地聚光、防止敏感度的降低。这些微透镜、波导、白色像素通常通过使用高折射率材料而实现高敏感度化，因此，正在积极地进行高折射率材料的开发研究。

作为微透镜、波导、白色像素的制作方法，目前主流是通过干式蚀刻对经涂布的树脂进行加工的方法。作为用于该方法的材料，对将氧化钛、氧化锆这样的金属氧化物与硅氧烷树脂、丙烯酸树脂进行复合而得到的高折射率材料进行了研究(例如，参见专利文献 1～3)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-246877号公报

专利文献2：日本特开2011-127096号公报

专利文献3：日本特开2008-156390号公报

发明内容

发明所要解决的课题

然而，金属氧化物与树脂形成的复合材料中，金属氧化物和树脂的性质明显不同，因此，两者的蚀刻速率(etching rate)差异大、难以在保持良好的粗糙度(roughness)的状态下进行加工。因此，本发明的目的在于，提供能制造干式蚀刻后的表面的粗糙度良好、且为高折射率、高透明的膜的高分子化合物、树脂组合物及使用其的固体摄像器件、高分子化合物的制造方法、固体摄像器件的制造方法、光学设备。

用于解决课题的手段

即，本发明为至少将(A)含有2个以上具有羟基或烷氧基的多环芳香族基团的化合物、及(B)含有2个以上通式(1)的结构的杂环式芳香族化合物进行缩聚而得到的高分子化合物。

[化学式1]

通式(1)中，R¹表示氢原子或碳原子数1～6的有机基团。

发明效果

根据本发明，可以得到能形成干式蚀刻后的表面的粗糙度良好、且为高折射率、高透明的膜的高分子材料。通过使用包含本发明的高分子材料的高透明的膜作为微透镜，可以制造小型且高精细的光学设备。

附图说明

[图1]为表示本发明的固体摄像器件的一实施例的局部截面图。

[图2]为表示本发明的固体摄像器件的一实施例的局部截面图。

具体实施方式

本发明的高分子化合物是至少将(A)含有2个以上具有羟基或烷氧基的多环芳香族基团的化合物与(B)含有2个以上通式(1) 的结构的杂环式芳香族化合物进行缩聚而成的。

[化学式2]