[发明专利]涂布方法

说明书

提供涂布方法，能够按照预先设定的形状形成涂布图案。具体而言，该涂布方法对形成在基材上的整个图案区域涂布涂布液，形成具有图案区域(52)的形状的涂布图案，图案区域(52)的周围的亲液性比图案区域(52)低，在图案区域(52)内设置有疏液部(54)，该疏液部(54)的亲液性比图案区域(52)内的其他部分低。

技术领域

本发明涉及涂布方法，利用喷墨法将涂布液涂布到基材上并形成任意的形状的涂布膜。

背景技术

当在基材W上形成任意的形状的涂布图案时，以往采用光刻，取而代之近年来大多情况下采用基于喷墨法的涂布。在光刻中，需要涂布、曝光、蚀刻等多个工序且在蚀刻的工序中消耗大量的涂布材料，与此相对，利用该喷墨法，能够以较少的工序且几乎不浪费涂布材料地进行涂布图案51的形成。

但是，在利用喷墨法形成涂布图案时，液滴着落在基材W上之后会产生浸润扩展，因此难以按照预先设定的形状形成涂布图案。特别是在涂布图案彼此的间隔较窄的情况下，有时涂布图案彼此连接，有可能无法发挥对该涂布图案所期待的性能。因此，如下述专利文献1所示，有时采用下述方法：预先按照涂布图案的形状提高基材W的亲液性，再对该部分喷出液滴。这样，液滴在亲液性高的部分内浸润扩展，因此能够容易地形成预先设定的形状的涂布图案。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005-109390号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，即使在通过上述方法形成了涂布图案的情况下，也有可能无法精度良好地得到任意的形状的涂布图案。具体而言，如图6的(a)那样在基材W上按照涂布图案的形状预先形成亲液性比周围高的图案区域91，在该图案区域91上涂布液滴而形成图6的(b)所示的涂布图案92，此时如图6的(b)中箭头所示，对涂布图案92作用有表面张力，因此涂布图案92被拉向涂布图案92的中央部，如图6的(c)所示，例如有可能在涂布图案92的角部产生非填充部93。

本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供涂布方法，能够按照预先设定的形状形成涂布图案。

用于解决课题的手段

为了解决上述课题，本发明的涂布方法对形成在基材上的整个图案区域涂布涂布液，形成具有所述图案区域的形状的涂布图案，其特征在于，所述图案区域的周围的亲液性比所述图案区域的亲液性低，在所述图案区域内设置有疏液部，该疏液部的亲液性比所述图案区域内的其他部分的亲液性低。

根据上述涂布方法，设置有疏液部，由此，虽然涂布图案被表面张力拉向中央，但在疏液部产生推回涂布图案的作用，因此能够抑制表面张力所导致的涂布图案的变形。

另外，所述疏液部可以设置在所述图案区域内的至少角部附近。

这样，能够在最有可能产生表面张力所导致的涂布图案的变形的角部抑制涂布图案的变形，能够得到更高精度的形状的涂布图案。

另外，所述疏液部的尺寸可以小于涂布液的飞行直径。

这样，能够防止未在疏液部上填充涂布液而在涂布图案上开孔。

另外，最接近所述角部的所述疏液部与所述角部之间的距离可以为涂布液的所述飞行直径的1/20倍至3倍之间。

这样，能够精度更良好地形成涂布图案角部的形状。

发明效果

根据本发明的涂布方法，能够按照预先设定的形状形成涂布图案。

附图说明

图1是示出用于进行本发明的一个实施方式中的涂布方法的涂布装置的概略图。