[发明专利]改善温度偏差特性的基板加热装置

权利要求书

1.一种基板加热装置，所述基板加热装置加热基板，其中，包括：

主体部，其支撑基板；

第一发热体，其位于所述主体部的内部区域；

第二发热体，其位于环绕所述内部区域的外部区域；

第三发热体，其横穿所述主体部的内部区域，向所述第二发热体传递电流；及

连接构件，其电气连接所述第二发热体与所述第三发热体；

其中，所述第二发热体和所述第三发热体及所述连接构件均由相同的材质构成，

构成所述第三发热体的金属线直径比构成所述第二发热体的金属线直径粗，

所述连接构件具备开口，对构成所述第二发热体及所述第三发热体的各金属线进行过盈配合而固定，

相对于所述基板加热装置中的从包括所述主体部中心点的中心区域向所述外部区域的方向横穿所述内部区域的中间区域、垂直于所述中间区域的垂直区域，

在穿过所述主体部中心点的所述中间区域的中心轴处，所述第一发热体和所述第三发热体的加热造成的平均表面温度，与所述垂直区域中心轴处的平均表面温度相同。

2.一种基板加热装置，所述基板加热装置加热基板，其特征在于，包括：

主体部，其支撑基板；

第一发热体，其位于所述主体部的内部区域；

第二发热体，其位于环绕所述内部区域的外部区域；及

第三发热体，其横穿所述主体部的内部区域，向所述第二发热体传递电流；

其中，所述第二发热体和所述第三发热体由相同材质的一条金属线构成，

所述第二发热体和所述第三发热体的连接部分具有锥形形状，

构成所述第三发热体的金属线直径比构成所述第二发热体的金属线直径粗，

相对于所述基板加热装置中的从包括所述主体部中心点的中心区域向所述外部区域的方向横穿所述内部区域的中间区域、垂直于所述中间区域的垂直区域，

在穿过所述主体部中心点的所述中间区域的中心轴处，所述第一发热体和所述第三发热体的加热造成的平均表面温度，与所述垂直区域中心轴处的平均表面温度相同。

3.一种基板加热装置，所述基板加热装置加热基板，其特征在于，包括：

主体部，其支撑基板；

第一发热体，其位于所述主体部的内部区域；

第二发热体，其位于环绕所述内部区域的外部区域；及

第三发热体，其横穿所述主体部的内部区域，向所述第二发热体传递电流，

其中，所述第二发热体和所述第三发热体由相同材质构成，

所述第二发热体和所述第三发热体的连接部分利用焊接接合，

构成所述第三发热体的金属线直径比构成所述第二发热体的金属线直径粗，

相对于所述基板加热装置中的从包括所述主体部中心点的中心区域向所述外部区域的方向横穿所述内部区域的中间区域、垂直于所述中间区域的垂直区域，

在穿过所述主体部中心点的所述中间区域的中心轴处，所述第一发热体和所述第三发热体的加热造成的平均表面温度，与所述垂直区域中心轴处的平均表面温度相同。

4.根据权利要求1所述的基板加热装置，其中，

所述第三发热体位于所述中间区域，

所述第一发热体不位于所述中间区域。

5.根据权利要求4所述的基板加热装置，其中，

以穿过所述主体部中心点的所述中间区域中心轴为基准，

所述第一发热体、所述第二发热体及所述第三发热体构成对称的形状。

6.根据权利要求4所述的基板加热装置，其中，

对于以所述主体部中心点为基准而与所述中间区域构成对称的对称区域，

穿过所述主体部中心点的所述中间区域中心轴处的因所述第一发热体及所述第三发热体发热导致的表面温度平均值，

与穿过所述主体部中心点的所述对称区域中心轴中的因所述第一发热体发热导致的表面温度平均值相同。

7.根据权利要求4所述的基板加热装置，其中，

对于以所述主体部中心点为基准而与所述中间区域构成对称的对称区域，

穿过所述主体部中心点的所述中间区域中心轴处的因所述第一发热体及所述第三发热体发热导致的表面温度最大值与最小值的差异，小于或等于穿过所述主体部中心点的所述对称区域中心轴处的因所述第一发热体发热导致的表面温度最大值与最小值的差异。