[发明专利]质量流量控制装置

权利要求书

1.一种质量流量控制装置，具有：

流量控制阀，其构成为能够变更阀开度；

流量计，其构成为对通过所述流量控制阀的气体的流量进行测量；以及

控制单元，其构成为向所述流量控制阀输出控制信号来控制所述阀开度，

其中，所述控制单元构成为执行以下的流量控制：向所述流量控制阀输出所述控制信号来控制所述阀开度，以使由所述流量计测量的所述气体的质量流量即测量流量与被设定为所述气体的质量流量的目标值的设定流量一致，

所述质量流量控制装置还具有构成为对所述气体的温度进行测量的温度计，

所述控制单元构成为执行输出校正控制信号的信号校正处理，所述校正控制信号是以如下方式进行调整后的控制信号：在由所述温度计测量的所述气体的温度即测量温度高于规定的基准温度的情况下，从所述测量温度减去所述基准温度所得到的差即温度差的绝对值越大，则使所述流量控制中的所述阀开度的变更量的绝对值越大，在所述测量温度低于所述基准温度的情况下，所述温度差的绝对值越大，则使所述流量控制中的所述阀开度的变更量的绝对值越小。

2.根据权利要求1所述的质量流量控制装置，其特征在于，

所述流量控制阀构成为所述控制信号的强度越大则所述阀开度越大，

所述控制单元构成为：在所述信号校正处理中，将对所述温度差的值乘以温度校正系数所得到的值与调整前的控制信号的强度的值相加所得到的值设定为所述校正控制信号的强度的值。

3.根据权利要求1所述的质量流量控制装置，其特征在于，

所述流量控制阀构成为所述控制信号的强度越小则所述阀开度越大，

所述控制单元构成为：在所述信号校正处理中，将从调整前的控制信号的强度的值减去对所述温度差的值乘以温度校正系数所得到的值而得到的值设定为所述校正控制信号的强度的值。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的质量流量控制装置，其特征在于，

所述控制单元构成为：在从所述设定流量减去所述测量流量所得到的差即流量差的绝对值为规定的阈值以上的情况下，通过反馈控制来执行所述流量控制，在该反馈控制中，通过变更所述控制信号的强度来使所述流量差接近零。

5.根据权利要求4所述的质量流量控制装置，其特征在于，

所述流量控制中的所述控制信号的强度构成为基于所述设定流量和所述测量温度来决定的初始值与基于所述流量差来决定的补偿值之和，

所述控制单元构成为：在所述流量控制中，仅针对所述初始值执行所述信号校正处理，不针对所述补偿值执行所述信号校正处理。