[发明专利]固化膜及其制造方法

权利要求书

1.固化膜，其是将感光性树脂组合物固化而得到的固化膜，其特征在于，所述感光性树脂组合物含有聚羟基酰胺，所述固化膜中的所述聚羟基酰胺的闭环率为10％以下，

所述聚羟基酰胺具有(A)通式(1)表示的结构单元，

式(1)中，X¹、Y¹各自独立地表示具有2个以上碳原子的2价～8价有机基团；R¹、R²各自独立地表示氢、或碳原子数为1～20的有机基团中的任意基团；n1表示2～500的整数，p、q各自独立地表示0～4的整数，r、s各自独立地表示0～2的整数，

所述聚羟基酰胺具有通式(2)表示的聚醚结构单元，

式(2)中，R³～R⁶各自独立地表示碳原子数为1～6的亚烷基；R⁷～R¹⁴各自独立地表示氢、氟、或碳原子数为1～6的烷基；其中，括号内所示的结构彼此不同；x、y、z各自独立地表示0～35的整数。

2.如权利要求1所述的固化膜，其中，所述固化膜中的聚羟基酰胺的闭环率为0.1％以上且10％以下。

3.如权利要求1所述的固化膜，其中，所述通式(2)表示的聚醚结构单元的分子量为150以上且2000以下。

4.如权利要求1～3中任一项所述的固化膜，其中，所述通式(2)表示的聚醚结构单元的含量在全部二胺残基中为5～40摩尔％。

5.如权利要求1～3中任一项所述的固化膜，其中，所述感光性树脂组合物还含有(B)通过光而产生酸的化合物、及(C)热交联剂。

6.如权利要求1～3中任一项所述的固化膜，其中，所述聚羟基酰胺为聚(邻羟基酰胺)。

7.如权利要求1～3中任一项所述的固化膜，其中，所述感光性树脂组合物还含有(D)通式(3)表示的化合物，

通式(3)中，R¹⁵～R¹⁷表示O原子、S原子、或N原子中的任意原子，R¹⁵～R¹⁷中的至少一者表示S原子；l表示0或1，m、n表示0～2的整数；R¹⁸～R²⁰各自独立地表示氢原子或碳原子数为1～20的有机基团。

8.如权利要求1～3中任一项所述的固化膜，所述固化膜还含有(E)下述通式(4)表示的化合物，

通式(4)中，R²¹表示氢原子或碳原子数为2以上的烷基，R²²表示碳原子数为2以上的亚烷基；R²³表示包含碳原子数为2以上的亚烷基、O原子、及N原子中的至少任一者的1～4价有机基团；k表示1～4的整数。

9.如权利要求1～3中任一项所述的固化膜，所述固化膜还含有(F)具有下述通式(5)表示的结构单元的热交联剂，

通式(5)中，R²⁵及R²⁶各自独立地表示氢原子或甲基；R²⁴为具有碳原子数为2以上的亚烷基的2价有机基团，可以为直链状、支链状、及环状中的任意。

10.如权利要求8所述的固化膜，所述固化膜还含有(F)具有下述通式(5)表示的结构单元的热交联剂，

通式(5)中，R²⁵及R²⁶各自独立地表示氢原子或甲基；R²⁴为具有碳原子数为2以上的亚烷基的2价有机基团，可以为直链状、支链状、及环状中的任意。