[发明专利]光学轮廓仪以及其使用方法

权利要求书

1.一种光学轮廓仪，所述光学轮廓仪包括：

光源，所述光源被配置成在感兴趣物体的表面上提供光点；

光接收器，所述光接收器包括透镜和光传感器，所述光接收器被配置成接收来自所述感兴趣物体的所述表面的光并且对所述光成像；以及

轮廓测量计算装置，所述轮廓测量计算装置耦合到所述光传感器，所述轮廓测量计算装置包括处理器和耦合到所述处理器的存储器，所述处理器被配置成能够执行所述存储器中包括和存储的程序指令以：

基于来自所述感兴趣物体的所述表面的所述经成像的光而计算所述光点在所述感兴趣物体的所述表面上的多个位置值，其中所述多个位置值中的每一个基于所述感兴趣物体围绕旋转轴的旋转而与某一角度旋转值相关联；以及

基于所述多个计算出的位置值而生成所述感兴趣物体的轮廓。

2.如权利要求1所述的光学轮廓仪，其中所述透镜被配置成在物空间中是远心的。

3.如权利要求1所述的光学轮廓仪，其中生成所述感兴趣物体的所述轮廓所需的时间小于100秒。

4.如权利要求1所述的光学轮廓仪，其中所述光点在所述感兴趣物体的所述表面上的所述多个位置值是在所述感兴趣物体围绕所述旋转轴的360度旋转内计算。

5.如权利要求1所述的光学轮廓仪，其中所述感兴趣物体围绕所述旋转轴的所述旋转是连续的。

6.如权利要求1所述的光学轮廓仪，其中所述感兴趣物体围绕所述旋转轴的所述旋转按介于0与360度之间的预定角度值递增。

7.如权利要求1所述的光学轮廓仪，其中所述感兴趣物体的所述表面上的所述光点的宽度是介于1微米与1000微米之间。

8.如权利要求1所述的光学轮廓仪，其中所述位置值各自是所述感兴趣物体的所述感兴趣表面上的所述光点的一组坐标。

9.如权利要求1所述的光学轮廓仪，其中所述光源包括二极管激光器或发光二极管。

10.如权利要求1所述的光学轮廓仪，其中所述光传感器包括象限传感器、图像传感器或位置感测装置。

11.如权利要求1所述的光学轮廓仪，所述光学轮廓仪还包括：

第一平移台，所述第一平移台被配置成平移所述光源以便生成所述感兴趣物体的另一个轮廓图像。

12.如权利要求11所述的光学轮廓仪，所述光学轮廓仪还包括：

第二平移台，所述第二平移台被配置成平移所述光源以在所述透镜与所述感兴趣物体之间维持恒定距离。

13.如权利要求1所述的光学轮廓仪，所述光学轮廓仪至少还包括第二光源和第二光接收器。

14.如权利要求1所述的光学轮廓仪，其中所述多个计算出的位置值基本上在一平面内。

15.如权利要求14所述的光学轮廓仪，其中所述平面基本上垂直于所述旋转轴。